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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司


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等離子體去膠機(jī)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-11 09:33:38瀏覽次數(shù):120次

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商鋪產(chǎn)品:635條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

PLASMA等離子體去膠機(jī)概要:該設(shè)備是適用于硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體前后道的等離子體去膠設(shè)備,可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理,該系列有兩種配置分別兼容4“/6"/8“或8“/12“晶圓

詳細(xì)介紹

PLASMA等離子體去膠機(jī)概要:


該設(shè)備是適用于硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體前后道的等離子體去膠設(shè)備,可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理,該系列有兩種配置分別兼容4“/6"/8“或8“/12“晶圓。設(shè)計緊湊占地面積小,設(shè)備穩(wěn)定可靠、易于維護(hù)、產(chǎn)能高。




PLASMA等離子體去膠機(jī)特點: 


兼容晶圓尺寸為:4 " /6 " /8"或8 " /12 "

支持2 個開放式晶圓匣或SMIF

高精度3 軸機(jī)械手

2種可選等離子體源:

RPS (400KHz Toroidal遠(yuǎn)程等離子體源 )

電感耦合等離子體源 (13.56MHz)

高密度等離子體,去膠速率快

優(yōu)異的均勻性和重復(fù)性

占地面積小

耗材成本(COC)和使用成本(COO)低

人性化的人機(jī)交互操作系統(tǒng)

工業(yè)計算機(jī)Windows




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