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行業(yè)產(chǎn)品

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司


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3軸機械臂3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-12 08:14:07瀏覽次數(shù):63次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:635條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂特點:超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂SCR3000CS系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部

詳細介紹

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂特點: 


超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂SCR3000CS系列

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運

機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運玻璃基板

晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式

手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指


3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂基本參數(shù)


使用環(huán)境

潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境

手臂

單臂

到達距離

340mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)

升降軸行程

200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm

可搬運質(zhì)量

3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))




如需詳細產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們


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