3軸機械臂防水3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運機械手臂

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更新時間：2024-06-12 08:20:48瀏覽次數(shù)：53次

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡介

防水3軸圓柱坐標(biāo)型機械晶圓搬運機械手臂特點：防水3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SWCR3000系列（配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機構(gòu)+邊緣夾持機構(gòu)）在保護等級IP64LSI半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝條件下

詳細(xì)介紹

防水3軸圓柱坐標(biāo)型機械晶圓搬運機械手臂特點：

防水3軸圓柱坐標(biāo)型機械手臂SWCR3000系列（配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機構(gòu)+邊緣夾持機構(gòu)）

在保護等級IP64 LSI半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝條件下，能夠在酸性，堿性環(huán)境下搬運半導(dǎo)體晶圓

手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性

手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈

零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條

Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式

可以針對搬運物體，客戶設(shè)備布局的實際情況提供的手指

防水3軸圓柱坐標(biāo)型機械晶圓搬運機械手臂基本參數(shù)：