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大口徑離子束拋光刻蝕機(jī) Finish 1500 德國scia Systems 羅茨風(fēng)機(jī)

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產(chǎn)品簡介

簡介SciaFinish1500離子束拋光機(jī)用于高精度光學(xué)元件的表面拋光

詳細(xì)介紹

簡介

Scia Finish 1500離子束拋光機(jī)用于高精度光學(xué)元件的表面拋光。該IBF系統(tǒng)采用高去除率、高穩(wěn)定離子束源，配備高效真空系統(tǒng)，可用于24/7運(yùn)行的批量生產(chǎn)。

常規(guī)屬性

- 采用聚焦離子束轟擊樣品表面，通過控制離子束焦斑在局部區(qū)域的駐留時(shí)間，來實(shí)現(xiàn)表面材料的定量去除，從而實(shí)現(xiàn)拋光或表面修整
- 適合于大口徑光學(xué)元件長期穩(wěn)定拋光
- 專用高效離子源保證大面積的高精度拋光
- 加工效率高
- 真空倉滑動(dòng)門設(shè)計(jì)，可輕松裝載大型基板
- 針對批量生產(chǎn)的設(shè)計(jì)，真空恢復(fù)用時(shí)短

系統(tǒng)性能