產(chǎn)品簡介
         OWT-100采用PHYS技術(shù)，對透明、半透明材料的厚度、TTV進(jìn)行無接 觸測量，其對
        透明、半透明材料的高精度精確測量的性價比在同類測試儀器中是的。
 
 產(chǎn)品特征
        ■無接觸無損傷測量
        ■高精確度及重復(fù)性
        ■測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的厚度、TTV
        ■抗干擾強，穩(wěn)定性好                                       
        ■強大的工控機控制和大屏幕顯示
        ■一體化設(shè)計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
        ■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量
        ■ 超高測試速度

技術(shù)指標(biāo)
        ■測試尺寸：50mm-200mm.
        ■厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um  
        ■厚度測試精度：+/-0.1um
        ■厚度重復(fù)性精度：0.050um
        ■TTV 測試精度: +/-0.05um
        ■TTV重復(fù)性精度: 0.050um
        ■測量時間: <1秒
        ■材料：透明、半透明材料
        ■尺寸: 560X650X400mm
        ■電源：220V 50HZ  300W
 
 典型客戶：        
    藍(lán)寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等