
日本英???UL300O Fab 可移動(dòng)式氦氣檢漏儀
始終嶺先一步新一代檢漏儀
長(zhǎng)久以來(lái),INFICON泄漏檢測(cè)技術(shù)一直是高性能和易用性方面的彪桿。UL3000 Fab有著當(dāng)今市場(chǎng)上極快的泄漏檢測(cè)速度,可提供最加用戶體驗(yàn)。UL3000 Fab專(zhuān)為滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)要求而開(kāi)發(fā),如半導(dǎo)體和光電顯示(包括子部件)的泄漏測(cè)試。
UL3000 FAB ULTRA 的附加*性。
·較早地起始泄漏檢查,由于HYDRO·S軟件限制水蒸汽本底,使它有可能快速進(jìn)入高靈敏的測(cè)量范圍。
·快速抽空,由于對(duì)空氣的高抽速。
·低使用成本(TCO)由于無(wú)需維護(hù)的羅茨粗抽泵。
低的運(yùn)行和維護(hù)成本
維護(hù)費(fèi)用低,使用壽命長(zhǎng):
·堅(jiān)實(shí)耐用的真空系統(tǒng)
·加固的離子源,長(zhǎng)達(dá)三年保修期

易于進(jìn)入應(yīng)用區(qū)域
·小型和堅(jiān)實(shí)的結(jié)構(gòu),穩(wěn)定和良好的移動(dòng)性
·重心低,易搬運(yùn)
·大膠輪,易于翻越障碼物
典型的應(yīng)用
■INFICON 檢漏儀日常用于大型半導(dǎo)體生產(chǎn)中
■各種過(guò)程工藝包括:刻蝕.CVD,PVD,真空爐,離子注入,MOCVD,太陽(yáng)能,FPD 等
■工藝維護(hù)后快速確認(rèn)工藝的完整性和應(yīng)修復(fù)的漏孔部位
■在次級(jí)生產(chǎn)中的真空管線和泵
■氣柜和復(fù)雜的氣體輸送管線
■生產(chǎn)設(shè)施和治理
附件直接配置在設(shè)備上
■氮?dú)馄孔跈z漏儀上
■真空軟管架在設(shè)備上
■附件在可鎖的貯物格內(nèi)
*性一覽
·在10-9至10-12毫巴升/秒范圍內(nèi) 快速測(cè)量的I·CAL軟件算法。
·采用I·ZERO2.0智能零點(diǎn)功能,可在維持高測(cè)量靈敏度的同時(shí)實(shí)現(xiàn)快速本底抑制達(dá)到醉有效的泄漏檢測(cè)。
·適用真空和吸槍泄漏搜索。
·通過(guò)快速抽空和響應(yīng)時(shí)間將泄漏,檢測(cè)的困難程度將至醉低。
·超薄設(shè)計(jì),操作方便,節(jié)省時(shí)間。
·低的使用成本(TCO)來(lái)自堅(jiān)實(shí)的離子源(3年保修期)和逆流型真空系統(tǒng)。
·易于使用,指導(dǎo)操作的HMI帶有全色彩的高分辨率可旋轉(zhuǎn)顯示器。


日本英福康 UL300O Fab 可移動(dòng)式氦氣檢漏儀
您的泄漏檢測(cè)解決方案專(zhuān)家
INFICON可為高度專(zhuān)業(yè)化行業(yè)中要求極為苛刻的真空過(guò)程提供全求嶺先的測(cè)量和傳感器技術(shù)及過(guò)程管理服務(wù)。特別是在制冷和空調(diào)技術(shù),半導(dǎo)體制造和汽車(chē)生產(chǎn)等領(lǐng)域,INFICON的氣體泄漏檢測(cè)產(chǎn)品有著廣泛應(yīng)用。
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