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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線TORAY東麗 氧氣濃度計(jì)MS-500
1.最多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
2.可以從ppm級(jí)別到廣泛濃度表示。
3.安裝在半導(dǎo)體制造裝置、真空裝置等上
4.傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)
5.對(duì)高耐久的傳感器施以特殊涂層，進(jìn)一步提高耐久性
氧化鋯氧濃度計(jì)測(cè)量原理
對(duì)兩面進(jìn)行電極加工的氧化鋯陶瓷具有在高溫下，在一個(gè)電極部將氧分子離子化，在另一個(gè)電極部將氧離子還原為氧分子的性質(zhì)。這種性質(zhì)被稱為離子電導(dǎo)，氧化鋯和陶瓷兩側(cè)的氧濃度差越大，離子電導(dǎo)的程度就越大。在此期間，兩個(gè)電極之間進(jìn)行電子的傳遞，離子電導(dǎo)的程度(即氧化鋯和陶瓷兩側(cè)的氧濃度之差)可以作為兩個(gè)電極之間的電動(dòng)勢(shì)大小來提取。這個(gè)電動(dòng)勢(shì)如下圖所示，根據(jù)涅倫斯特的理論公式得到了穩(wěn)定的數(shù)值，因此東麗氧化鋯傳感器能夠顯示穩(wěn)定可靠的氧濃度值。
氧化鋯氧濃度計(jì)使用上的一般注意事項(xiàng)
氧化鋯氧濃度儀在約700℃的高溫下工作。因此在以下情況下有可能無法測(cè)量并影響傳感器壽命。
因?yàn)檠鯕鉂舛扔?jì)內(nèi)部有電爐，所以設(shè)置氣氛在防爆地區(qū)不能使用。
可燃性氣體(例如氫氣、甲烷、酒精、一氧化碳等)混入氧氣計(jì)內(nèi)部時(shí)，會(huì)引起燃燒反應(yīng)，造成測(cè)量誤差。
有機(jī)硅(用于密封材料等)會(huì)引起傳感器老化。(作為引起傳感器劣化的原因，這是非常多的原因之一。
鹵素類(特別是氯)會(huì)引起傳感器不良。
像一氧化碳這樣熱量高的物質(zhì)斷斷續(xù)續(xù)地混入的話，受到熱記錄引起傳感器不良。
如果混入大量Nox、Sox等腐蝕性氣體，就會(huì)引起傳感器不良。
氟利昂氣體在高溫下發(fā)生分離反應(yīng)，有可能引起傳感器劣化。
水滴、塵埃、霧是傳感器損壞、短壽命和誤差的原因。
最多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
可以從ppm級(jí)別到廣泛濃度表示。
安裝在半導(dǎo)體制造裝置、真空裝置等上
傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)
對(duì)高耐久的傳感器施以特殊涂層，進(jìn)一步提高耐久性
TORAY東麗 氧氣濃度計(jì)MS-500
TORAY東麗 氧氣濃度計(jì)MS-500
| 測(cè)定原理 | ジルコニア濃淡電池式 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式） | ||
| 表示方式 | デジタル4桁表示(濃度表示) | ||
| 測(cè)定レンジ | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm 自動(dòng)レンジ | ||
| 繰返性 | ±0.5%FS以內(nèi) 0-1%レンジ以上 ±1%FS以內(nèi)または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範(fàn)囲外 | ||
| 測(cè)定點(diǎn)數(shù) | 1～8 | ||
| サンプルガス條件 | 圧力 | 10-3～200KPa（絶対圧） | |
| 流量 | 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測(cè)定) | ||
| 濕度 | 露點(diǎn)が周囲溫度以下 | ||
| 溫度 | 0～100℃ | ||
| その他 | 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機(jī)シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと | ||
| 比較ガス | 大気 | ||
| 記録計(jì)出力 | 伝送出力のみ | ||
| 伝送出力 | RS-232C | ||
| 警報(bào)出力 | なし | ||
| ウォームアップ時(shí)間 | 6分以內(nèi) | ||
| 寸法 | MS-500(コントローラ) | 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず) | |
| MS-510(変換機(jī)) | 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず) | ||
| センサユニット | SD16NW | 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴體部Φ40×51) | |
| SD25NW | 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴體部Φ40×48) | ||
| SD40NW | 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴體部Φ40×49) | ||
| 質(zhì)量 | MS-500(コントローラ) | 約0.6Kg | |
| MS-510(変換器) | 約0.5kｇ | ||
| センサユニット | SD16NW | 約0.2Kg | |
| SD25NW | 約0.2Kg | ||
| SD40NW | 約0.35Kg | ||
| 外部接続 | 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか | ||
| 使用電源 | 24VDC±10% | ||
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