因此電流流過(guò)金屬與半導(dǎo)體接觸處產(chǎn)生的許多副效應(yīng)（如珀?duì)柼?yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等），對(duì)測(cè)量的影響較小，因此兩探針?lè)ǖ臏y(cè)量精度一般優(yōu)于四探針?lè)?。是?duì)多晶材料的測(cè)量，由于多晶晶粒間界處，雜質(zhì)局部偏析可能導(dǎo)致電阻率較大變化，這種影響對(duì)四探針?lè)閲?yán)重，故不用四探針?lè)y(cè)量多晶材料的電阻率。