真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型：?氣體捕集泵和?氣體傳輸泵。

具體類型真空泵的工作原理

??水環(huán)式真空泵?：

工作原理：水環(huán)式真空泵利用偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，葉片在泵腔內(nèi)形成與轉(zhuǎn)子同心的水環(huán)。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，水環(huán)與轉(zhuǎn)子之間的體積變化，形成真空。當(dāng)氣體被吸入泵腔后，通過(guò)水環(huán)的壓縮作用，氣體被排出泵外。

??旋片式真空泵?：

工作原理：旋片式真空泵采用三片旋片安插在與泵體同心的轉(zhuǎn)子的狹槽中。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，離心力推動(dòng)旋片在泵缸壁內(nèi)旋轉(zhuǎn)，形成氣室。空氣通過(guò)入口流入，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)壓縮空氣，最終通過(guò)出口排出，形成真空。

??羅茨泵?：

工作原理：羅茨泵采用兩個(gè)相反方向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子之間保持一定的間隙。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，氣體被吸入、壓縮并從排氣口排出，形成真空。

真空泵的應(yīng)用場(chǎng)景

真空泵廣泛應(yīng)用于?冶金、?化工、?食品、?電子鍍膜等行業(yè)。例如，在冶金行業(yè)中，真空泵用于抽取爐內(nèi)的空氣，以控制爐內(nèi)的真空度；在化工行業(yè)中，真空泵用于各種化學(xué)反應(yīng)的真空環(huán)境控制；在食品行業(yè)中，真空泵用于食品包裝的除氧保鮮；在電子鍍膜中，真空泵用于控制薄膜沉積的真空環(huán)境。

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（1）泵總體結(jié)構(gòu)型式

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。

（2）泵的傳動(dòng)方式

真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高精度齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中均勻。這種傳動(dòng)方式的最大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。

特點(diǎn)

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

(3)泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；

(4)泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

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