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更新時(shí)間：2025-03-17 09:18:15瀏覽次數(shù)：154次
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半導(dǎo)體晶圓光罩石英舟石墨舟氮?dú)夤?
石墨舟氮?dú)夤袷且环N專為存放石墨舟設(shè)計(jì)的儲(chǔ)存設(shè)備，因?yàn)槭馁|(zhì)在空氣中容易與氧氣發(fā)生反應(yīng)，尤其是在高溫處理后，表面可能更為敏感。
半導(dǎo)體晶圓光罩石英舟石墨舟氮?dú)夤?/strong> 半導(dǎo)體晶圓光罩石英舟石墨舟氮?dú)夤?/strong>
石墨舟是一種在半導(dǎo)體、太陽能光伏等高科技產(chǎn)業(yè)中廣泛使用的專用工具，主要由高純度石墨材料制成。它的形狀通常像一只船，因此得名“石墨舟"。石墨舟主要用于承載硅片或其他基板材料通過各種高溫處理過程，是制造半導(dǎo)體器件和太陽能電池片的關(guān)鍵設(shè)備之一。
石墨舟氮?dú)夤袷且环N專為存放石墨舟設(shè)計(jì)的儲(chǔ)存設(shè)備，因?yàn)槭馁|(zhì)在空氣中容易與氧氣發(fā)生反應(yīng)，尤其是在高溫處理后，表面可能更為敏感。氮?dú)庾鳛橐环N惰性氣體，可以隔絕空氣中的水汽和其他污染物，避免這些雜質(zhì)附著在石墨舟及裝載的硅片上，影響后續(xù)工藝的純凈度和成品率。使用氮?dú)夤窨梢詣?chuàng)造一個(gè)低氧或無氧環(huán)境，有效防止石墨舟表面氧化，保持其導(dǎo)電性和熱穩(wěn)定性。對(duì)于某些需要保持特定物理或化學(xué)性質(zhì)的石墨舟，氮?dú)猸h(huán)境有助于維持其材料特性不被外界環(huán)境破壞。這類柜子通常配備精確的氮?dú)饬髁靠刂坪捅O(jiān)測(cè)系統(tǒng)，保證柜內(nèi)氣體環(huán)境的穩(wěn)定，調(diào)節(jié)和監(jiān)控柜內(nèi)的氮?dú)鉂舛?、濕度、氧氣含量等參?shù)，確保存儲(chǔ)條件符合要求。
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