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真空電阻測(cè)試臺(tái)

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真空電阻測(cè)試臺(tái)，一體式不銹鋼腔體，手動(dòng)調(diào)節(jié)探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置。

詳細(xì)介紹

一、真空電阻測(cè)試臺(tái)的原理介紹：
（1）一體式不銹鋼腔體，手動(dòng)調(diào)節(jié)探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。
（2）高低溫配置，KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺(tái)，結(jié)構(gòu)小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實(shí)驗(yàn)的要求。
（3）特別之處在于顯微鏡和探針臺(tái)采用分體結(jié)構(gòu)，使得探針部分能從整個(gè)探針臺(tái)系統(tǒng)中獨(dú)立出來(lái)，可以應(yīng)用于輻照實(shí)驗(yàn)中，該探針臺(tái)也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測(cè)試。
（4）多探針結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)多路測(cè)試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測(cè)試數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。

二、真空電阻測(cè)試臺(tái)KT-Z4019MRL4T技術(shù)參數(shù)：

真空腔體
類(lèi)型	高溫型室溫到350℃	高低溫型室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測(cè)量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)材質(zhì)	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺(tái)尺寸	26x26mm
樣品臺(tái)加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺(tái)-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺(tái)溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差	±0.5℃
樣品臺(tái)升溫速率	高溫100℃/min 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類(lèi)型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號(hào)輸入類(lèi)型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號(hào)接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長(zhǎng)1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可擴(kuò)展5探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選）
探針尖	10μm
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程	20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動(dòng)行程	120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動(dòng)行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）