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氣敏測試真空腔體微型探針臺(tái)臺(tái)

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產(chǎn)品簡介

氣敏測試真空腔體微型探針臺(tái)臺(tái)，可預(yù)留接口以備安裝電子閥及流量計(jì)之用，充入其它氣體使用，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度）

詳細(xì)介紹

氣敏測試真空腔體微型探針臺(tái)臺(tái)

高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測試而無凝露或結(jié)霜。對于選用了入門級(jí)配置的用戶，可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度，從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺(tái)系統(tǒng)可達(dá)10^-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。

為了減少泵組的振動(dòng)，我們還專門為用戶設(shè)計(jì)了隔振器，地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。

度

氣敏測試真空腔體微型探針臺(tái)臺(tái)

真空腔體
類型	高溫型室溫到350℃	高低溫型室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)材質(zhì)	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺(tái)尺寸	26x26mm
樣品臺(tái)加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺(tái)-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺(tái)測溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺(tái)溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺(tái)測溫誤差	±0.5℃
樣品臺(tái)升溫速率	高溫100℃/min 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號(hào)輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號(hào)接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可擴(kuò)展5探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選）
探針尖	10μm
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程	20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動(dòng)行程	120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動(dòng)行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）