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行業(yè)產(chǎn)品

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MFM200系列氣體質(zhì)量流量計

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-05-18 09:36:04瀏覽次數(shù):153次

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產(chǎn)品簡介

MFM200系列,氣體質(zhì)量流量計,流量20000sccm,壓力500PSI

詳細介紹

 

MFM 系列熱式質(zhì)量流量計和MFC 系列熱式質(zhì)量流量控制器為多功能產(chǎn)品,該產(chǎn)品的設計易于使用,方便進行流量檢測與控制。本類產(chǎn)品標準工作壓力為500psig,標準標定時采用空氣、氦氣、氫氣、二氧化碳,其他氣體標定可按要求進行。


所有流量計和控制器均由316L不銹鋼棒料制造,可用流量范圍從0-10sccm到0-20lpm,其精度可高達±1%滿刻度。并且每臺儀器都可提供可追溯的NIST標定證書。電路設計可以抗高射頻干擾,且響應速度很快,從而確保性能可靠和精度。

特點


• 全量程±1%精度
• 經(jīng)過驗證的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校準

應用


• 泄漏測試
• 醫(yī)療研究
• 氣象淀積
• 研發(fā)和工藝流程
• 半導體制程
• 污染檢測
• 氣體混合
• 色譜分析

技術(shù)指標

MFM 200
精確度1 和線性度 ±1% 量程
重復精度 ±0.05% 量程
標準額定壓力 500 psig
壓力系數(shù) 典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 )
整體泄漏率 <1x10-9 sccs
溫度系數(shù) 3 ±0.035% 量程/°C (0-60°C)
  量程 ±0.05%讀數(shù)/°C (0-60°C)
標準溫度和壓力 0°C760
電源 ±15 VDC @ ±25 mA
流量信號 (本征線性) 0-5VDC
接觸介質(zhì)的材料 316 SS, Viton®, 82/18 Au/Ni 釬焊,
微量銀焊接
連接器 15針微型 D
接頭 1/4" 1/8" 卡套
重量  
1.8 lb (0.82 kg)

選型表

MFM-200訂貨號    流量范圍   1/4"卡套   1/8"卡套
MFM-200-2-10  0-10 SCCM          ⊙
MFM-200-2-100  0-100 SCCM         
MFM-200-2-500  0-500 SCCM         
MFM-200-2-1000  0-1000 SCCM         
MFM-200-4-3L  0-3 SLM         
MFM-200-4-5L  0-5 SLM         
MFM-200-4-10L  0-10 SLM         
MFM-200-4-20L  0-20 SLM         



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