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LBIC光束誘導(dǎo)電流成像測(cè)試系統(tǒng)

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北京卓立漢光儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

LBIC光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)采用振鏡掃描技術(shù)，對(duì)樣品表面做快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號(hào)通過探針引到源表，再顯示在軟件界面，用三維圖顯示樣品表面在同一個(gè)光強(qiáng)下電流分布，以此推算樣品的光電轉(zhuǎn)換均勻性和材料的缺陷分布。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)是用于檢測(cè)材料光電流強(qiáng)度分布的專用設(shè)備，主要用來測(cè)量光電材料的光電響應(yīng)信號(hào)和表征材料的光電特征。光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)將光電材料對(duì)于光信號(hào)響應(yīng)的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來。該系統(tǒng)可以研究光電探測(cè)器的量子效率，器件的電阻分布特征，研究太陽能電池光生電流的不均勻性，研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，以及光電材料界面，半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。

整個(gè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)包含光源（激光器或者連續(xù)光源），顯微鏡，掃描振鏡，數(shù)字源表，探針臺(tái)和計(jì)算機(jī)軟件等。激光通過掃描透鏡，掃描振鏡，成像透鏡，經(jīng)過顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流，光電流信號(hào)通過探針引出至源表，再通過電腦在軟件中讀出，掃描時(shí)振鏡是通過電壓控制器控制光束的偏轉(zhuǎn)角度，激光的光斑在樣品的XY 方向上掃描移動(dòng)，軟件記錄每一個(gè)激光聚焦光斑的位置和其對(duì)應(yīng)的電流值，在軟件上同步描繪出光電流成像圖，顯示樣品的電流分布。

LBIC光束誘導(dǎo)電流成像測(cè)試系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)