UHV式光柵特性由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低殘余氣體分析(RGA)經(jīng)驗(yàn)證不會(huì)污染真空環(huán)境120°C烘焙溫度非接觸開放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零無(wú)氣密孔高精度直線光柵和圓光柵系列真正意義的位置測(cè)量RESOLUTE光柵系列可與單碼道直線柵尺和圓光柵配用，實(shí)現(xiàn)位置測(cè)量

詳細(xì)介紹

UHV式光柵

特性

由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低
殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗(yàn)證不會(huì)污染真空環(huán)境
120 °C烘焙溫度
非接觸開放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零
無(wú)氣密孔
高精度直線光柵和圓光柵系列

真正意義的位置測(cè)量

RESOLUTE光柵系列可與單碼道直線柵尺和圓光柵配用，實(shí)現(xiàn)位置測(cè)量。該光柵在通電后無(wú)需任何移動(dòng)便可立即獲取位置信息。

高速和高分辨率

RESOLUTE光柵結(jié)合了的光學(xué)系統(tǒng)與創(chuàng)新的位置確定算法，能夠以達(dá)到1 nm的精細(xì)分辨率和高達(dá)100 m/s (36,000 rpm) 的速度實(shí)現(xiàn)位置測(cè)量。

優(yōu)異的測(cè)量性能

RESOLUTE光柵系統(tǒng)可測(cè)量位置，其具有±40 nm的低電子細(xì)分誤差 (SDE) 和小于10 nm RMS的超低噪聲（抖動(dòng)），能夠?qū)崿F(xiàn)平穩(wěn)的速度控制性能和可靠的位置穩(wěn)定性。

柵尺選項(xiàng)

直線柵尺用于提供直線位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸。
圓光柵用于提供角度位置信息以及對(duì)旋轉(zhuǎn)元件進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制。
圓弧柵尺可卷繞在圓柱體、軸或圓弧上，用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的圓弧。

帶碼道選項(xiàng)的不銹鋼鋼帶

柵尺名稱	精度	柵距	20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù)	供應(yīng)長(zhǎng)度	讀數(shù)頭兼容性
配有可選FASTRACK™的RTLA30	±5 µm/m	30 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	達(dá)21 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

細(xì)窄型不銹鋼鋼帶柵尺

柵尺名稱	精度	柵距	熱膨脹系數(shù)	供應(yīng)長(zhǎng)度	讀數(shù)頭兼容性
RKLA-S	±5 μm/m	30 µm	使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后，柵尺的伸縮將與基體材料保持一致	達(dá)21 m	RESOLUTE

ZeroMet™直線硬柵尺

柵尺名稱	精度	柵距	20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù)	供應(yīng)長(zhǎng)度	讀數(shù)頭兼容性
RELA30	1 m內(nèi)為±1 µm，1 m以上為±1 µm/m	30 µm	0.75 ±0.35 µm/m/°C	達(dá)1.5 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

不銹鋼直線硬柵尺

柵尺名稱	精度	柵距	20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù)	供應(yīng)長(zhǎng)度	讀數(shù)頭兼容性
RSLA30	1 m內(nèi)為±1.5 µm，2 m內(nèi)為±2.25 µm，3 m內(nèi)為±3 µm，5 m內(nèi)為±4 µm	30 µm	10.1 ±0.2 µm/m/°C	達(dá)5 m	RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

細(xì)窄型不銹鋼圓弧鋼帶

柵尺名稱	精度	柵距	熱膨脹系數(shù)	供應(yīng)長(zhǎng)度	讀數(shù)頭兼容性
RKLA-S	±5 μm/m	30 µm	使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后，柵尺的伸縮將與基體材料保持一致	達(dá)21 m	RESOLUTE