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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市夢啟半導體裝備有限公司


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全自動高精密晶圓倒角機

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參   考   價: ￥ 1000000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號DL-SC150A

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：駱先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-09-27 14:24:46瀏覽次數(shù)：676次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：駱先生 （運營）

產(chǎn)品簡介

1、電源供應為三相380V。
2、環(huán)境要求;無易爆易燃和腐蝕氣體;26℃恒溫無塵車間:40-85%RH。
3、氣源使用壓力為0.5Mpa-0.8 Mpa，管徑010。
4、真空負壓為-80kpa--85kpa，管徑010。
5、水源使用壓力為0.25Mpa-0.4Mpa，管徑 012。

詳細介紹

設備優(yōu)勢

◎ 晶圓倒角單元采用側向進給磨削原理，兼容中?4'' / ?6'' / ?8''（Φ100~Φ200）晶圓倒角加工。


◎ 設備配有精密在線測量厚度儀單元和CCD視覺模組，加工時先測量產(chǎn)品厚度和精確定位圓心控制倒角角度。加工完后可測量直徑，真圓度，直線邊到圓心尺寸，倒角邊尺寸。


◎ 設備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能，滿足各類工藝需求。


◎ 設備核心磨削主軸、承片主軸及視覺定位和測厚系統(tǒng)都是自主研發(fā)生產(chǎn)。


◎ 全自動上下料和不良品下料工位?？蛇M行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工。


◎ 配置了觸摸式液晶顯示器，提高了操作便利性?？刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡單地完成操作。


性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-SC150ADL-SC200A
晶圓尺寸in兼容?4''/?6''

兼容?4''/?6''/?8''

研磨方式-晶圓旋轉進給磨削
砂輪直徑mm?205金剛石砂輪?205金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW11
額定轉速范圍RPM500~3000500~3000
Notch主軸
額定功率KW-0.5
額定轉速范圍RPM-1000~60000
產(chǎn)品和研磨臺定位精度um±4±4
厚度測量重復精度um±2±2
磨削精度直徑控制精度um1515
晶圓真圓度控制能力um＜10＜10
倒角面幅精度um＜20＜20
平邊/次平邊角度控制能力度±0.05±0.05
設備尺寸（W x D x H）mm2000x1150x19502000x1150x1950
設備重量KG約1000約1000


關鍵詞：顯示器

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