晶圓鼓風(fēng)烤箱，半導(dǎo)體烤箱概述：

   烤箱整機為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設(shè)有超溫停止加熱功能，控制可靠，使用安全。

晶圓鼓風(fēng)烤箱，半導(dǎo)體烤箱特點

1、全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；

用途

烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。 
也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗。

技術(shù)參數(shù)

1、名稱：電熱鼓風(fēng)烤箱

2、主要技術(shù)指標(biāo)：

2.1溫度范圍： RT（室溫）+10～300℃；

2.2溫度偏差：≤±2.0℃；

2.3升溫速度：≥4℃/min，室溫至200度大約50分鐘；

2.4工作尺寸：W450×H450×D450mm；

2.5電源：AC220V 50HZ 3.5KW ；

3、箱體結(jié)構(gòu)：

3.1箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆；

3.2內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼；

3.3保溫材料：超細(xì)玻璃棉；

3.4排 氣 口：ф50；

3.5 隔 板：2層，不銹鋼沖孔，承重約30KG；

3.6空氣循環(huán)裝置：軸流電機；

3.7加熱方式：不銹鋼電加熱器；

4、溫控系統(tǒng)

4.1溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；

4.2控制儀表：日本富士溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃；

4.3超溫保護(hù)儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng)，保證試驗品的安全；

4.4 具有獨立的計時器，計時開關(guān)，計時報警器