概述Summary
我公司生產的LDRS型不銹鋼硅烷燃燒凈化塔是處理硅烷、氨氣及其他堿性可溶性氣體的廢氣凈化設備，主要用于處理太陽能電池生產線行業(yè)以及PECVD化學氣相沉淀工藝所產生的廢氣。
本產品在結構上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。在進氣方便采用壓縮空氣加新風進氣口雙進風形式，提高產品運行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面，采用循環(huán)水泵與自動補水相結合的方法，風機采用一用一備形式，這些工藝特點使得本產品在安全可靠性方面得到*保證。內部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。經部門檢測，客戶單位硅烷（SiH4）去除率≥99.99％，氨氣（NH3）以及其他水溶性的凈化率高達99.99％。

工作原理Operation principle
 
本產品采用優(yōu)質不銹鋼板進行制造，根據(jù)硅烷與空氣接觸而自然的特點，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過填料層再進入燃燒塔噴淋室，經過噴淋處理，使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應，然后進入脫液器處理后由抽風機排入大氣。