真空閥門是真空系統(tǒng)中用來調(diào)節(jié)氣流量、切斷和接通管路的元件，按照其工作原理主要分為真空蝶閥、真空隔膜閥、真空擋板閥、真空球閥、真空電磁閥等等。
真空閥門具有下列特點：工作壓力低于大氣壓。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一半不超過-70~+150℃的范圍。
對這類閥門zui基本的要求是保證連接的高度密封性和結構域墊片材料的致密性。
按照介質(zhì)壓力真空閥門可以分為四組：
- 低真空閥門：介質(zhì)壓力P=760~1毫米汞柱；
- 中真空閥門：P=1X10-3毫米汞柱；
- 高真空閥門：P=1X10-4~1X10-7毫米汞柱；
真空閥門選用是要考慮的依據(jù)以下幾點：
- 根據(jù)工作壓力有低真空閥門、高真空閥門和超高真空閥門；
- 根據(jù)結構特點有真空蝶閥、真空球閥、真空隔膜閥、真空擋板閥、真空插板閥、真空角閥、真空直通閥、真空三通閥等。
- 根據(jù)傳動原理有手動、氣動、電動、電磁。一般氣動為電磁先導、氣缸執(zhí)行動作的過程，也可以用手來控制先導閥氣缸執(zhí)行動作的過程。電動為手、電兩用，當停電時可以用手動進行操作。
- 根據(jù)材料含有不銹鋼、碳鋼、鋁合金為主體材料的閥門。
根據(jù)真空閥門的密封材料可分為金屬密封或非金屬密封閥門。軸封用O形橡膠圈一般真空動密封的漏率為10-4Pa.L/S，在軸運動過程中真空度不高，可用于要求不高的真空條件下使用；軸封為波紋管密封，其漏率為10-7Pa.L/S，適用于超高真空條件下使用。
