Cube-200是馳奔儀器第二代鎢絲槍掃描電鏡系列之臺(tái)式掃描電鏡（馳奔儀器）
Cube-200臺(tái)式掃描電鏡（馳奔儀器）是數(shù)字化控制，專(zhuān)業(yè)級(jí)電子顯微成像精密儀器。配置有三級(jí)電磁透鏡，大變焦范圍，長(zhǎng)工作距離，多孔徑光闌，輕松獲得材料表面媲美大型掃描電鏡的高分辨、大景深、高質(zhì)量的微觀形貌導(dǎo)航圖；拓展簡(jiǎn)單易用臺(tái)式電鏡X射線能譜儀（EDS），能快速獲得微米亞微米范圍微小區(qū)域化學(xué)元素定性定量結(jié)果；在工作條件固定模式下，Cube-200也是一款高效率的成像檢測(cè)設(shè)備。
硬件特征：
全數(shù)字控制，專(zhuān)業(yè)級(jí)電子顯微成像儀器；
標(biāo)配SE探測(cè)器，選配BSE探測(cè)器 ；
可選樣品倉(cāng)低真空環(huán)境功能，直接測(cè)試非導(dǎo)電樣品；
可選內(nèi)置一體化簡(jiǎn)單易用EDS；
XYZ三軸大行程自動(dòng)樣品臺(tái)，可選RT軸自動(dòng)控制（降低Z軸行程）；
多重彈簧橡膠隔振減振系統(tǒng)；
主機(jī)設(shè)計(jì)緊湊，系統(tǒng)高度集成，良好散熱及電磁兼容性能；
輕質(zhì)合金外殼，數(shù)字加工成型，具有良好電磁屏蔽功能。
性能指標(biāo)：
型號(hào) | Cube-200 專(zhuān)業(yè)入門(mén)級(jí)臺(tái)式掃描電鏡 | |
樣品臺(tái) | XYZ三軸自動(dòng)，RT手動(dòng) -Y: 45mm （自動(dòng)） | |
電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲，三極自動(dòng)偏壓，偏壓與加速電壓關(guān)聯(lián) | |
加速電壓 | 200V-30KV ，數(shù)字化高壓電源，連續(xù)可調(diào) | |
探測(cè)器 | E-T型 SE detector, | |
物鏡光闌 | 四孔位可變光闌，20~100μm | |
分辨率 | 5nm @30KV SE Image 8nm@30KV BSE Image | |
放大倍數(shù) | 20x-300,000 x | |
樣品室 | Se、Bse、EDS探測(cè)器接口， 4個(gè)其他接口 | |
大樣品尺寸 | Φ90mm x 45mm（H） | |
工作距離 | 0-48mm | |
掃描光柵運(yùn)動(dòng) | 電位移 ±50μm， 電旋轉(zhuǎn) 0-360° | |
視頻顯示模式 | 聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可變 TV模式：800x 600像素 慢掃描模式:用于TV及聚焦模式。 照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、大3200x2400像素 | |
高級(jí)掃描 | 動(dòng)態(tài)聚焦，傾斜補(bǔ)償 | |
圖像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG | |
真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)真空系統(tǒng)，真空高壓連鎖安全保護(hù) -渦輪分子泵 -旋片式機(jī)械真空泵 -電動(dòng)閥門(mén)系統(tǒng)：真空閘板閥、電磁閥等 -高真空優(yōu)于7.5x10-3Pa （從大氣到達(dá)高真空小于3分鐘） -低真空模式 10-230Pa （選配） | |
自動(dòng)功能 | 亮度/對(duì)比度, 聚焦, 電子槍對(duì)中、偏壓、飽和，物鏡光闌搖擺對(duì)中，自動(dòng)照相存儲(chǔ) | |
軟件系統(tǒng) | 基于Win10，Virtuoso控制軟件. 內(nèi)嵌長(zhǎng)度角度面積測(cè)量、圖像編輯處理工具。*鼠標(biāo)鍵盤(pán)操作。 | |
主機(jī)尺寸/重量 | 410(W）x440（D）x 520（H）mm /65kg | |
電源 | 單相交流 220V 、50Hz、1KW | |
耗材附件 | 預(yù)對(duì)中燈絲，樣品托，碳導(dǎo)電膠帶，工具 | |
硬件特征：
全數(shù)字控制，專(zhuān)業(yè)級(jí)電子顯微成像儀器；
標(biāo)配SE探測(cè)器，選配BSE探測(cè)器 ；
可選樣品倉(cāng)低真空環(huán)境功能，直接測(cè)試非導(dǎo)電樣品；
可選內(nèi)置一體化簡(jiǎn)單易用EDS；
XYZ三軸大行程自動(dòng)樣品臺(tái)，可選RT軸自動(dòng)控制（降低Z軸行程）；
多重彈簧橡膠隔振減振系統(tǒng)；
主機(jī)設(shè)計(jì)緊湊，系統(tǒng)高度集成，良好散熱及電磁兼容性能；
輕質(zhì)合金外殼，數(shù)字加工成型，具有良好電磁屏蔽功能。
