Cube-200X是馳奔儀器第二代鎢燈絲掃描電鏡系列 之臺式電鏡能譜一體機(jī)（馳奔儀器）
Cube-200x臺式電鏡能譜一體機(jī)（馳奔儀器），是全數(shù)字化控制，專業(yè)電子顯微成像分析儀器，配置有三級電磁透鏡，大變焦范圍，長工作距離，多孔徑光闌，輕松獲得材料表面高分辨、大景深、高質(zhì)量的微觀形貌導(dǎo)航圖，拓展簡易EDS，能夠?qū)ξ⒚讈單⒚追秶瘜W(xué)元素組成進(jìn)行快速鑒定，即使未經(jīng)專業(yè)培訓(xùn)，也能夠得心應(yīng)手。在工作條件固定模式下，Cube-X也是一款高效率的成像檢測設(shè)備。
硬件特征：
全數(shù)字控制，專業(yè)級電子顯微成像儀器；
標(biāo)配SE探測器，選配BSE探測器 ；
可選樣品倉低真空環(huán)境功能，直接測試非導(dǎo)電樣品；
可選內(nèi)置一體化簡單易用EDS；
XYZ三軸大行程自動(dòng)樣品臺，可選RT軸自動(dòng)控制（降低Z軸行程）；
多重彈簧橡膠隔振減振系統(tǒng)；
主機(jī)設(shè)計(jì)緊湊，系統(tǒng)高度集成，良好散熱及電磁兼容性能；
輕質(zhì)合金外殼，數(shù)字加工成型，具有良好電磁屏蔽功能。
多工位馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺 X Y Z行程：45/45/50mm 手動(dòng)傾斜旋轉(zhuǎn)樣品
高檔輕質(zhì)合金外殼，數(shù)字加工成型，具有良好電磁屏蔽功能。
拓展：簡單易用X-ray能譜（EDS）
能夠快速獲得微米亞微米范圍感興趣區(qū)化學(xué)元素成分信息，用戶無需了解高級能譜技術(shù)知識，按照廠商預(yù)設(shè)程序，簡單培訓(xùn)即可工作，配置盡可能簡單快速。
特點(diǎn)：
自動(dòng)定性定量； 自動(dòng)譜峰能量校準(zhǔn)；
自動(dòng)選擇通道寬度及時(shí)間常數(shù)； 采集電鏡圖像，可同時(shí)采集譜圖像，可疊加元素偽彩；
元素面分布和線掃描，多基于譜圖像的分析提取；
探測晶體面積10~30mm²，但大輸出10萬Cps左右;
無需液氮制冷
軟件特征：
用戶友好：包含多用戶環(huán)境、一鍵成像、自動(dòng)調(diào)節(jié)、燈絲壽命記錄、遠(yuǎn)程診斷控制；
特殊樣品：動(dòng)態(tài)聚焦（DF）、傾斜補(bǔ)償；
高效拍照：自動(dòng)照相（Auto Imaging）； 大圖拼接：連續(xù)視野照片縫合；
信號探測：支持SE、BSE、STEM同時(shí)；
鼠標(biāo)鍵盤操作，簡易快捷。
安裝尺寸圖：
性能指標(biāo)：
型號 | Cube-X 臺式電鏡能譜一體機(jī) | |
樣品臺 | XYZ三軸自動(dòng)，RT手動(dòng) -Y: 45mm （自動(dòng)） | |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲，三極自動(dòng)偏壓，偏壓與加速電壓關(guān)聯(lián) | |
加速電壓 | 200V-30KV ，數(shù)字化高壓電源，連續(xù)可調(diào) | |
探測器 | E-T型 SE detector, 四分割半導(dǎo)體固體BSE detector（選購） | |
物鏡光闌 | 四孔位可變光闌，20~100μm | |
分辨率 | 5nm @30KV SE Image 8nm@30KV BSE Image | |
放大倍數(shù) | 20x-300,000 x | |
樣品室 | Se、Bse、EDS探測器接口， 4個(gè)其他接口 | |
大樣品尺寸 | Φ90mm x 45mm（H） | |
工作距離 | 0-48mm | |
掃描光柵運(yùn)動(dòng) | 電位移 ±50μm， 電旋轉(zhuǎn) 0-360° | |
視頻顯示模式 | 聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可變 TV模式：800x 600像素 慢掃描模式:用于TV及聚焦模式。 照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、大3200x2400像素 | |
高級掃描 | 動(dòng)態(tài)聚焦，傾斜補(bǔ)償 | |
圖像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG | |
真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)真空系統(tǒng)，真空高壓連鎖安全保護(hù) -渦輪分子泵 -旋片式機(jī)械真空泵 -電動(dòng)閥門系統(tǒng)：真空閘板閥、電磁閥等 -高真空優(yōu)于7.5x10-3Pa （從大氣到達(dá)高真空小于3分鐘） -低真空模式 10-230Pa （選配） | |
自動(dòng)功能 | 亮度/對比度, 聚焦, 電子槍對中、偏壓、飽和，物鏡光闌搖擺對中，自動(dòng)照相存儲 | |
軟件系統(tǒng) | 基于Win10，Virtuoso控制軟件. 內(nèi)嵌長度角度面積測量、圖像編輯處理工具。*鼠標(biāo)鍵盤操作。 | |
主機(jī)尺寸/重量 | 410(W）x440（D）x 520（H）mm /65kg | |
電源 | 單相交流 220V 、50Hz、1KW | |
耗材附件 | 預(yù)對中燈絲，樣品托，碳導(dǎo)電膠帶，工具 | |
EDS能譜儀 All-in-one mode OXFORD/BRUKER/EDAX
拓展：簡易X-ray能譜（EDS）
主要針對感興趣區(qū)進(jìn)行元素定性和半定量，能夠快速獲得結(jié)果，能夠較為快速的進(jìn)行元素面分布采集。
用戶無需了解高級能譜技術(shù)知識，按照廠商預(yù)設(shè)程序，簡單培訓(xùn)即可工作，配置盡可能簡單快速。
特點(diǎn)： 自動(dòng)定性定量； 自動(dòng)譜峰能量校準(zhǔn)；
自動(dòng)選擇通道寬度及時(shí)間常數(shù)； 采集電鏡圖像，可同時(shí)采集譜圖像，可疊加元素偽彩；
元素面分布和線掃描，多基于譜圖像的分析提??；
探測晶體面積10~30mm²，但大輸出10萬Cps左右;
無需液氮制冷
