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HMDS涂膠烤箱，MES接口hmds涂布機(jī) 工業(yè)烘箱

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
品牌雋思
型號(hào)
所在地上海
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2023/7/9 9:54:12
訪問(wèn)次數(shù)4007

產(chǎn)品標(biāo)簽:

HMDS 烤箱真空烘箱 HMDS涂膠 HMDS涂布

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司（以下簡(jiǎn)稱“雋思儀器”）是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能等行業(yè)；多年來(lái)，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨，為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的*好評(píng)，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，真空無(wú)氧烘箱，無(wú)塵無(wú)氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗(yàn)箱，高低溫試驗(yàn)箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測(cè)儀，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀，電線電纜檢測(cè)儀器，真空烘箱，黑蒜試驗(yàn)機(jī)，橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力，做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理，在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程，形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì)，以飽滿的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來(lái)！

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HMDS烘箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，PI烤箱，真空無(wú)氧烘箱，無(wú)塵無(wú)氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，超低溫試驗(yàn)箱

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

類型	真空

HMDS涂膠烤箱，MES接口hmds涂布機(jī)的主要作用是對(duì)晶圓做表面處理，以增加光阻在晶圓表面的附著力。當(dāng)晶圓送到黃光區(qū)時(shí)，表面可能有含水層，高溫烘烤后去除水氣，同時(shí)經(jīng)過(guò)HMDS制程改變晶圓表面從極性到非極性，將晶圓表面的表面能被調(diào)整到與光阻表面相當(dāng)?shù)某潭龋瑥亩构庾杩梢院芎玫母街诰A表面。

HMDS涂膠烤箱，MES接口hmds涂布機(jī) 工業(yè)烘箱產(chǎn)品信息

HMDS涂膠烤箱，MES接口hmds涂布機(jī)簡(jiǎn)介：

HMDS涂膠烤箱的主要作用是對(duì)晶圓做表面處理，以增加光阻在晶圓表面的附著力。當(dāng)晶圓送到黃光區(qū)時(shí)，表面可能有含水層，高溫烘烤后去除水氣，同時(shí)經(jīng)過(guò)HMDS制程改變晶圓表面從極性到非極性，將晶圓表面的表面能被調(diào)整到與光阻表面相當(dāng)?shù)某潭?，從而使光阻可以很好的附著在晶圓表面。

首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表而生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。

HMDS涂膠烤箱，MES接口hmds涂布機(jī)特點(diǎn)：

1.HMDS是氣相涂布在硅片表面，也就是硅片在高溫環(huán)境HMDS的蒸汽中放置；

2.在顯影過(guò)程中無(wú)需去除硅片表面的HMDS層；

3.在HMDS上面滴光刻膠甩涂時(shí)，光刻膠內(nèi)的溶劑不會(huì)破壞HMDS層；

4.多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到廢氣收集管道；

5.所有制程都在密閉的腔體內(nèi)完成，操做是不會(huì)接觸到HMDS蒸汽；

6.可保存多個(gè)產(chǎn)品制程，制程工藝一鍵完成，無(wú)需值守人員。

HMDS涂膠烤箱技術(shù)指標(biāo)：

1.設(shè)備型號(hào)： JS-HMDS90
2.工作室尺寸（mm）： 450×450×450，650*650*650,800*800*800,1200*1000*1200 可自定
3 外形尺寸：根據(jù)內(nèi)腔尺寸變化
4. 材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或不銹鋼，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼
5. 溫度范圍：RT+10-250℃
6. 溫度分辨率：0.1℃
7. 溫度波動(dòng)度： ≤±0.5
8. 真空度： ≤133pa（1torr）
9. 潔凈度：class 100，設(shè)備采用無(wú)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
10.電源及總功率： AC 220V±10% / 50HZ 總功率約3.0KW
11. 重量：約180KG
12. 控制儀表：人機(jī)界面
13.擱板層數(shù) ：2層
14. HMDS控制：可控制HMDS藥夜添加量
15.真空泵：旋片式油泵或干泵
16. 保護(hù)裝置 HMDS藥液泄漏報(bào)警裝置，HMDS自動(dòng)添加，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過(guò)熱保護(hù)等