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實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱小型HMDS處理烤箱

參考價(jià)	￥ 86890
訂貨量	≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
品牌雋思
型號(hào)JS-HMDS30
所在地上海市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2025/6/5 13:35:16
訪問(wèn)次數(shù)227

產(chǎn)品標(biāo)簽:

HMDS烘箱 HMDS涂膠真空烤箱 HMDS預(yù)處理烤箱不銹鋼HMDS真空烘箱小型實(shí)驗(yàn)室HMDS烤箱

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司（以下簡(jiǎn)稱“雋思儀器”）是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能等行業(yè)；多年來(lái)，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨，為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的*好評(píng)，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，真空無(wú)氧烘箱，無(wú)塵無(wú)氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗(yàn)箱，高低溫試驗(yàn)箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測(cè)儀，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀，電線電纜檢測(cè)儀器，真空烘箱，黑蒜試驗(yàn)機(jī)，橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力，做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理，在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程，形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì)，以飽滿的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來(lái)！

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HMDS烘箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，PI烤箱，真空無(wú)氧烘箱，無(wú)塵無(wú)氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，超低溫試驗(yàn)箱

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

材質(zhì)	不銹鋼316	工作室尺寸	300-3000mm
功率	2800	加工定制	是
類型	真空	適用范圍	半導(dǎo)體,電子，醫(yī)療，新材料，玻璃，陶瓷
溫度范圍	200,300,400℃	重量	190kg

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱小型HMDS處理烤箱解決光刻膠附著力不足問(wèn)題,同時(shí)增強(qiáng)光刻圖形的完整性.

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱小型HMDS處理烤箱產(chǎn)品信息

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱小型HMDS處理烤箱的重要作用

晶片產(chǎn)品的表面通常是親水的，因?yàn)閺沫h(huán)境濕度中吸附了一層水。為了使光刻膠具有適當(dāng)?shù)母街Γ枰贡砻娓呤杷?，以更好地與光刻膠的化學(xué)性質(zhì)相匹配。

1. 解決光刻膠附著力不足問(wèn)題

產(chǎn)品表面的自然氧化層：暴露在空氣中的硅片會(huì)形成約 1-2nm 厚的 SiO?層，其表面富含羥基（-OH），具有強(qiáng)親水性。而光刻膠（尤其是化學(xué)增幅型光刻膠）多為疏水性樹脂，直接旋涂時(shí)會(huì)因表面能不匹配導(dǎo)致 “去濕”（dewetting）現(xiàn)象，形成針孔或島狀缺陷。

HMDS 的改善效果：通過(guò)表面硅烷化處理，使硅片表面接觸角從～40° 提升至65°-80°（接近光刻膠的接觸角），確保光刻膠均勻鋪展并形成連續(xù)膜層。實(shí)驗(yàn)表明，使用 HMDS 后，光刻膠的附著力可提高 3-5 倍，在后續(xù)顯影、刻蝕過(guò)程中不易脫落

2. 增強(qiáng)光刻圖形的完整性

細(xì)線條工藝中的關(guān)鍵作用：在 28nm 以下工藝節(jié)點(diǎn)，光刻膠線條寬度減小至亞微米級(jí)，邊緣應(yīng)力集中效應(yīng)加劇，若無(wú) HMDS 處理，顯影時(shí)極易發(fā)生線條坍塌（Line Collapse）。例如，在 193nm 浸沒式光刻中，使用 HMDS 可使 50nm 線寬的抗坍塌能力提升 20%。

深孔 / 溝槽結(jié)構(gòu)的填充優(yōu)化：對(duì)于 3D NAND 等具有高深寬比（>20:1）結(jié)構(gòu)的器件，HMDS 可降低光刻膠在孔底的接觸角，避免填充空洞（Void）形成，提高圖形轉(zhuǎn)移質(zhì)量。

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱小型HMDS處理烤箱的主要功能

HMDS 涂覆：采用蒸汽涂覆（Vapor Prime）將 HMDS 均勻覆蓋在產(chǎn)品表面；

烘烤固化：通常在 100-150°C 下烘烤 60-500 秒，促進(jìn)化學(xué)反應(yīng).

容積:300×300×300可定制（mm）（2-12寸產(chǎn)品兼容）

材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼制作，內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼

溫度范圍：RT+20-200℃

真空度：≤1torr

自動(dòng)化：彩色觸摸屏人機(jī)交互，一鍵運(yùn)行

HMDS控制：可控制HMDS 藥液添加量

真空泵：無(wú)油渦旋真空泵

HMDS烤箱選配功能: