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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱

參考價(jià) 86890
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號(hào)JS-HMDS30
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2025/6/5 13:35:16
  • 訪問(wèn)次數(shù)227
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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來(lái),公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的*好評(píng),更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,真空無(wú)氧烘箱,無(wú)塵無(wú)氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測(cè)儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀,電線電纜檢測(cè)儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì),以飽滿的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來(lái)!






HMDS烘箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦?,高溫?zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無(wú)氧烘箱,無(wú)塵無(wú)氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),超低溫試驗(yàn)箱
材質(zhì) 不銹鋼316 工作室尺寸 300-3000mm
功率 2800 加工定制
類型 真空 適用范圍 半導(dǎo)體,電子,醫(yī)療,新材料,玻璃,陶瓷
溫度范圍 200,300,400℃ 重量 190kg
實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱解決光刻膠附著力不足問(wèn)題,同時(shí)增強(qiáng)光刻圖形的完整性.
實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱 產(chǎn)品信息

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱  小型HMDS處理烤箱的重要作用

   晶片產(chǎn)品的表面通常是親水的,因?yàn)閺沫h(huán)境濕度中吸附了一層水。為了使光刻膠具有適當(dāng)?shù)母街Γ枰贡砻娓呤杷?,以更好地與光刻膠的化學(xué)性質(zhì)相匹配。

1. 解決光刻膠附著力不足問(wèn)題

產(chǎn)品表面的自然氧化層:暴露在空氣中的硅片會(huì)形成約 1-2nm 厚的 SiO?層,其表面富含羥基(-OH),具有強(qiáng)親水性。而光刻膠(尤其是化學(xué)增幅型光刻膠)多為疏水性樹脂,直接旋涂時(shí)會(huì)因表面能不匹配導(dǎo)致 “去濕”(dewetting)現(xiàn)象,形成針孔或島狀缺陷。

HMDS 的改善效果:通過(guò)表面硅烷化處理,使硅片表面接觸角從~40° 提升至65°-80°(接近光刻膠的接觸角),確保光刻膠均勻鋪展并形成連續(xù)膜層。實(shí)驗(yàn)表明,使用 HMDS 后,光刻膠的附著力可提高 3-5 倍,在后續(xù)顯影、刻蝕過(guò)程中不易脫落

2. 增強(qiáng)光刻圖形的完整性

細(xì)線條工藝中的關(guān)鍵作用:在 28nm 以下工藝節(jié)點(diǎn),光刻膠線條寬度減小至亞微米級(jí),邊緣應(yīng)力集中效應(yīng)加劇,若無(wú) HMDS 處理,顯影時(shí)極易發(fā)生線條坍塌(Line Collapse)。例如,在 193nm 浸沒式光刻中,使用 HMDS 可使 50nm 線寬的抗坍塌能力提升 20%。

深孔 / 溝槽結(jié)構(gòu)的填充優(yōu)化:對(duì)于 3D NAND 等具有高深寬比(>20:1)結(jié)構(gòu)的器件,HMDS 可降低光刻膠在孔底的接觸角,避免填充空洞(Void)形成,提高圖形轉(zhuǎn)移質(zhì)量。

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱  小型HMDS處理烤箱的主要功能

HMDS 涂覆:采用蒸汽涂覆(Vapor Prime)將 HMDS 均勻覆蓋在產(chǎn)品表面;

烘烤固化:通常在 100-150°C 下烘烤 60-500 秒,促進(jìn)化學(xué)反應(yīng).


容積:300×300×300可定制(mm)(2-12寸產(chǎn)品兼容)

材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼制作,內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼

溫度范圍:RT+20-200℃

真空度:≤1torr

自動(dòng)化:彩色觸摸屏人機(jī)交互,一鍵運(yùn)行

HMDS控制:可控制HMDS 藥液添加量

真空泵:無(wú)油渦旋真空泵

HMDS烤箱選配功能:


HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能

HMDS低液位報(bào)警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

程序鎖定保護(hù)等功能


關(guān)鍵詞:真空泵
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