光氧等離子廢氣凈化一體機等離子體中的離子、電子、激發(fā)太原子、分子及自由基都是極活潑的反應性物種，使通常條件下難以進行或速度很慢的反應變得快速，它們再進一步與污染物分子、離子反應，從而使污染物得到降解，尤其有利于難降解污染物的處理。

另外 ，由于活性離子和自由基氣體放電時一些高能激發(fā)粒子向下躍遷能產(chǎn)生紫外光線，當光子或電子的能量大于半導體禁帶寬度時，就會激發(fā)半導體內(nèi)的電子，使電子從價帶躍遷至導帶，形成具有很強活性的電子空穴對，并進一步誘導一系列氧化還原反應的進行。

光氧等離子廢氣凈化一體機是利用電子、各種離子、原子和自由基等活性等離子體和廢氣中的污染物作用，高效凈化、無需添加任何物質(zhì)、適應性強、低耗節(jié)能、安全可靠的特點，使廢氣物質(zhì)分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到分解廢氣的目的。低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。

“低溫等離子體”設備重量輕，體積小，可按場地要求立放、臥放，可根據(jù)廢氣濃度、流量、成份進行串、并組合設計達到廢氣凈化。 低溫等離子體廢氣處理是一種干法凈化過程，是一種全新的凈化過程，運行過程無需添加任何添加劑，不產(chǎn)生廢水、廢渣，不會導致二次污染。