光氧等離子廢氣凈化一體化設(shè)備是利用電子、各種離子、原子和自由基等活性等離子體和廢氣中的污染物作用，高效凈化、無需添加任何物質(zhì)、適應(yīng)性強、低耗節(jié)能、安全可靠的特點，使廢氣物質(zhì)分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達到分解廢氣的目的。低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。

“低溫等離子體”設(shè)備重量輕，體積小，可按場地要求立放、臥放，可根據(jù)廢氣濃度、流量、成份進行串、并組合設(shè)計達到廢氣凈化。 低溫等離子體廢氣處理是一種干法凈化過程，是一種全新的凈化過程，運行過程無需添加任何添加劑，不產(chǎn)生廢水、廢渣，不會導(dǎo)致二次污染。

光氧等離子廢氣凈化一體化設(shè)備可以分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。廢氣和惡臭氣體經(jīng)過等離子體電場區(qū)，在納秒級時間范圍內(nèi)流星雨狀的高能離子與介質(zhì)內(nèi)分子(原理)發(fā)生非彈性碰撞，等離子猛烈轟擊廢氣和臭味等污染物分子，產(chǎn)生裂變分解反應(yīng)，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子(原子)的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)，離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活性狀態(tài)，污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生高濃度、度、高能量的各種活性基、高能電子、高能離子等，同時產(chǎn)生大量臭氧、原子氧、生態(tài)氧等混合氣體，進行一系列復(fù)雜的分化裂解和氧化還原反應(yīng)。