公司介紹：
NTT-AT有著多年的X射線、極紫外光學(xué)配件的研發(fā)與銷售經(jīng)驗(yàn)。在范圍內(nèi)，通過與眾多來自同步輻射科學(xué)，阿秒科學(xué)，高強(qiáng)度物理學(xué)等領(lǐng)域的科學(xué)研究者開展緊密合作，積累了大量*的設(shè)計(jì)與制造技術(shù)，其產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)享有很高的評(píng)價(jià)。NTT-AT提供的菲涅爾波帶片有著高分辨率，高聚光效率等特點(diǎn)，適合被各種輻射光設(shè)施使用。另外，分辨率測(cè)試卡被當(dāng)作業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)。不只是學(xué)術(shù)研究，在X射線的檢查裝置開發(fā)現(xiàn)場(chǎng)也被廣泛使用。XUV鏡片，XUV濾波片不僅對(duì)阿秒科學(xué)有著幫助，對(duì)下一代的光刻研究也有這重要作用。NTT-AT將在XUV,EUV, X線領(lǐng)域給予客戶在研發(fā)上的幫助。
產(chǎn)品介紹：
定制透射光柵，可用于光譜儀，光束輪廓監(jiān)測(cè)和分束。
Ta/SiN雙涂層或SiN單涂層自支撐光柵，具有側(cè)壁粗糙度低，清晰度高等特點(diǎn)，非常適用于XUV衍射實(shí)驗(yàn)
基本參數(shù)：
Ta/SiN type | SiN type | |
光柵區(qū)域 | 2 × 2 mm | |
刻線數(shù) |
100 – 1200 lines/mm | |
支撐條 |
500 nm width, 50 μm pitch | |
材料 | Ta (100 nm) and SiN (100 nm) | SiN (100 nm) |
框架 |
10 × 10 × 0.625 mm Si | |
