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日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ
特征
直流濺射類系列中最小的超緊湊型號(hào)
一種可以輕松制作電極薄膜的小型濺射裝置
標(biāo)配間歇濺射功能
TS 之間的距離可以通過(guò)專用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)輕松改變。
應(yīng)用/結(jié)果示例
適用于各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701MkⅡ
基本規(guī)格
| 陰極 | φ2英寸/平板型電極 |
| 濺射靶 | 包括 Au 目標(biāo) |
| 氣體引入機(jī)制 | 針閥 |
| 間歇功能 | 標(biāo)配 |
| 真空泵 | 直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：20l/min（帶自動(dòng)漏氣） |
| 腔室尺寸 | 內(nèi)徑φ90mm x D90mm（SUS制） |
| 樣品交換方式 | 前門(mén)開(kāi)閉式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 本體：160/326 / 286mm 反相：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身體：10kg RP：9kg |
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