低溫等離子體技術(shù)作為近年來興起的新技術(shù)備受人們的關(guān)注,尤其是在處理大氣污染問題方面。低溫等離子體法工作過程為通過氣體放電產(chǎn)生高能電子,當(dāng)電子能量足夠高時,再與氣體分子或原子發(fā)生碰撞,就可以使幾乎所有的分子激發(fā)、電離和自由基化,產(chǎn)生一系列的活性基團,如O3、O·、OH·和N·等,這些高能量活性基團與污染物分子發(fā)生碰撞及氧化分解反應(yīng),短時間內(nèi)就可將其降解為CO2、H2O及小分子有機物。由于該方法具有去除效率高,能量利用率高,反應(yīng)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單易操作等優(yōu)點,國內(nèi)外有許多研究者都致力于該方向的研究,且在處理有機廢氣、氮氧化物、硫氧化物、顆粒物、微生物污染和水中污染物等方面開展了廣泛的研究。低溫等離子體法在凈化處理低濃度大風(fēng)量的有廢氣時氣展現(xiàn)出較好的優(yōu)勢,因此在環(huán)境污染物處理領(lǐng)域中,被認為是有較高發(fā)展前景的*之一。
一般認為低溫等離子體降解處理VOCs的過程分為三步:首先通過氣體放電產(chǎn)生低溫等離子體;然后其內(nèi)部的高能電子和活性基團與VOCs碰撞,使其呈高能量激發(fā)態(tài),進而進行分解;最后,第二部反應(yīng)過程中生成的不穩(wěn)定物質(zhì)相互碰撞反應(yīng)變成相對穩(wěn)定的新物質(zhì)。常用的低溫等離子體產(chǎn)生技術(shù)主要有電子束照射法、電暈放電法及介質(zhì)阻擋放電法等。