低溫等離子體技術(shù)作為近年來(lái)興起的新技術(shù)備受人們的關(guān)注，尤其是在處理大氣污染問(wèn)題方面。低溫等離子體法工作過(guò)程為通過(guò)氣體放電產(chǎn)生高能電子，當(dāng)電子能量足夠高時(shí)，再與氣體分子或原子發(fā)生碰撞，就可以使幾乎所有的分子激發(fā)、電離和自由基化，產(chǎn)生一系列的活性基團(tuán)，如O₃、O·、OH·和N·等，這些高能量活性基團(tuán)與污染物分子發(fā)生碰撞及氧化分解反應(yīng)，短時(shí)間內(nèi)就可將其降解為CO₂、H₂O及小分子有機(jī)物。由于該方法具有去除效率高，能量利用率高，反應(yīng)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易操作等優(yōu)點(diǎn)，國(guó)內(nèi)外有許多研究者都致力于該方向的研究，且在處理有機(jī)廢氣、氮氧化物、硫氧化物、顆粒物、微生物污染和水中污染物等方面開(kāi)展了廣泛的研究。低溫等離子體法在凈化處理低濃度大風(fēng)量的有廢氣時(shí)氣展現(xiàn)出較好的優(yōu)勢(shì)，因此在環(huán)境污染物處理領(lǐng)域中，被認(rèn)為是有較高發(fā)展前景的*之一。

一般認(rèn)為低溫等離子體降解處理VOCs的過(guò)程分為三步：首先通過(guò)氣體放電產(chǎn)生低溫等離子體；然后其內(nèi)部的高能電子和活性基團(tuán)與VOCs碰撞，使其呈高能量激發(fā)態(tài)，進(jìn)而進(jìn)行分解；最后，第二部反應(yīng)過(guò)程中生成的不穩(wěn)定物質(zhì)相互碰撞反應(yīng)變成相對(duì)穩(wěn)定的新物質(zhì)。常用的低溫等離子體產(chǎn)生技術(shù)主要有電子束照射法、電暈放電法及介質(zhì)阻擋放電法等。