20世紀(jì)80年代初，工業(yè)VOCs逐漸開(kāi)始使用生物法進(jìn)行處理。生物法是利用微生物的生命活動(dòng)將有機(jī)物轉(zhuǎn)化為簡(jiǎn)單小分子無(wú)機(jī)物的一種方法，具體過(guò)程為：將微生物固定附著在不同的濾料介質(zhì)中，氣態(tài)的VOCs通過(guò)濾料介質(zhì)時(shí)傳質(zhì)到液相或固相，然后被介質(zhì)中微生物吸收，以其為碳源和能源代謝降解為CO₂和H₂O。根據(jù)微生物存在形式的不同，生物法工藝可分為附著生長(zhǎng)系統(tǒng)和懸浮生長(zhǎng)系統(tǒng)，其中，附著生長(zhǎng)采用生物滴濾塔和生物過(guò)濾塔，懸浮生長(zhǎng)采用生物洗滌塔。生物法的主要優(yōu)點(diǎn)是：可在常溫常壓下操作運(yùn)行，效率高能耗低，設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于操作，運(yùn)行費(fèi)用低，二次污染小，可處理各種成分、濃度及氣量的有機(jī)廢氣。但該方法也存在氧化分解速度慢，停留時(shí)間長(zhǎng)，設(shè)備體積大及微生物培養(yǎng)馴化難等問(wèn)題。生物法在美國(guó)、日本、德國(guó)等外國(guó)已大規(guī)模應(yīng)用，但在國(guó)內(nèi)的研究及應(yīng)用相對(duì)較少。