DF-250系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，可在1秒內(nèi)（所有區(qū)域）實(shí)現(xiàn)低于50 SLM的響應(yīng)。
該系列提供高達(dá)500 SLM的高流量系列。
- 標(biāo)準(zhǔn)氣體用真實(shí)氣體校準(zhǔn)
- ~50 SLM在整個(gè)區(qū)域內(nèi)1秒內(nèi)快速響應(yīng)
- 從10SCCM到500SLM的陣容
- 標(biāo)準(zhǔn)配備通訊功能（RS485）
- RoHS。符合CE標(biāo)準(zhǔn)
DF-250C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 閥門(mén)方式 | 比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉） | |||||
| 目標(biāo)氣體（* 1） | N2，空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未描述的氣體是N2當(dāng)量校準(zhǔn)） | 空氣，N2 | ||||
| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM到10 SLM | 20至50 SLM （二氧化碳：20至30 SLM） | 100,150 SLM | 200,300 SLM | 400,500 SLM（* 3） | |
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | ||||
| 響應(yīng)速度 | 總流量控制范圍在1秒內(nèi) （wihtin±2％F。S.） | 1.5秒或更短 10％或更少是3秒或更短 （在±2％F。內(nèi)） | 2秒或更短（±2％FS內(nèi)） | |||
| L：50.149kPa H：150.300kPa | L：150.249kPa H：250.350kPa | L：200。299kPa（* 9）H：300。350kPa | ||||
| 精度（* 4） | ±1.0%F.S. | ±2.0%F.S. | ||||
| 再現(xiàn)性 | ±0.25%F.S. | ±0.5%F.S. | ||||
| 工作壓差（* 5） | 50至300千帕 （Ar，CO2：100至300 kPa） | 100至300千帕 （Ar，CO 2：150至300 kPa） | 150至350千帕 | 200 SLM：200至350 kPa 300 SLM：250至350 kPa | 400 SLM：200至350 kPa 500 SLM：250至350 kPa | |
| 入口壓力 | 500kPa(G) | |||||
| 耐壓 | 980kPa(G) | |||||
| He泄漏率（* 6） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | 1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下 | ||||
| 溫度 | 工作溫度 | 5～50℃ | ||||
| 精度保證溫度 | 15～35℃ | |||||
| 允許儲(chǔ)存溫度 | -10～60℃ | |||||
| 允許工作濕度 | 10～90%RH （無(wú)結(jié)露） | |||||
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM | |||||
| 電氣連接 | D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）， RJ-45模塊化插孔x 2 | D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）， HR-10A×2 | ||||
| 流量設(shè)定信號(hào) | 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） | |||||
| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ以上） | |||||
| 數(shù)字通信 | 使用RS485旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)設(shè)置地址：最多99（9600 bps） | |||||
| 所需電源（DC） | +15 VDC（±5％）：150 mA， -15 VDC（±5％）：150 mA | +15 VDC（±5％）：150 mA， -15VDC（±5％）：250mA | 24 VDC（±10％）：450 mA（DC插孔.D-sub） | |||
| 接頭（* 7） | 1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4 | 1/2 SW（標(biāo)準(zhǔn)），3/4 SW | ||||
| 安裝姿勢(shì) | 推薦水平方向 | |||||
| 重量（* 8） | 約850g | 約1000g | 約2250g | 約3500g | ||
（* 1）應(yīng)為干燥氣體，清潔氣體，無(wú)腐蝕性成分，灰塵，霧氣等。
（* 2）流量校準(zhǔn)單元SCCM和SLM是在0°C和1 atm下轉(zhuǎn)換為質(zhì)量流量cc / min和L / min的值。
（* 3）工作壓力范圍內(nèi)的輸出流量為1％或更低。
（* 4）流量范圍的精度（滿量程）。
（* 5）工作壓差可能因規(guī)格而異。
（* 6）不含滲透。
長(zhǎng)期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa·m3 / sec以下。
（* 7）如需其他接頭，請(qǐng)另行詢(xún)問(wèn)。
（* 8）沒(méi)有配件的重量。
（* 9）300 SLM，500 SLM將為L(zhǎng)：250。299 kPa。
尺寸圖
（* 8）對(duì)于50 SLM或更低，請(qǐng)參考DF-200C尺寸。
接線連接
