這是一款帶有集成顯示器的質(zhì)量流量控制器，可與DF系列所需的24V電源配合使用。
采用DF-200C系列實現(xiàn)準確度±1％SP，1秒內(nèi)（全范圍）響應，同時通過簡單的操作能夠變更包含基準氣體在內(nèi)的7種氣體類型及其流量范圍，直接利用多種氣體和多范圍的*多面性，增強了便利性。
- 高精度（±1％SP），高速響應（全范圍1秒內(nèi)）
- 支持多范圍和多種氣體
- 標準配備通訊功能（RS485）
- 支持RoHS.CE規(guī)格
- 驅(qū)動單電源電壓DC24V
- 可選擇有無指示燈
- 可選輸入/輸出信號
DF-300C標準規(guī)范
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
|---|---|---|
| 閥門方式 | 比例電磁閥（未通電時關(guān)閉） | |
| 目標氣體（* 1） | N2（Air，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2） | |
| 流量范圍（* 3） | 10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2） | |
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | |
| 響應能力（* 4） | 總流量控制范圍 1sec內(nèi)（wihtin±2％F.S.） | |
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | ||
| 精度（* 5） | ±1.0％SP（> 35％F.S.）， ±0.35％F.S.（≦35％F.S.） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.25%F.S. | |
| 動作壓差（* 6） | 50~300 kPa（Ar、CO2：100~300 kPa） | |
| 入口壓力 | 500kPa(G) | |
| 耐壓 | 980kPa(G) | |
| He泄漏率（* 7） | 1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下 | |
| 溫度 | 允許周圍溫度 | 5～50℃ |
| 精度保證溫度 | 15～35℃ | |
| 允許儲存溫度 | -10～60℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） | |
| 氣體接觸材料 | SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM | |
| 電氣連接 | D-sub 15引腳 公頭 高密度型，HR-10A×2 | |
| 流量設定信號 | 0~5 VDC（輸入電阻：約1MΩ）or4～20mA（輸入電阻:約250Ω） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（負載電阻：10kΩ以上）or4～20mA（負載電阻:500Ω以下） | |
| 數(shù)字通信 | 根據(jù)RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)或顯示屏設置地址：最多99臺（9600 bps） | |
| 活動輸入 | 接點輸入×3個（非絕緣） | |
| 活動輸出 | NPN開路集電極×3個（非絕緣，額定值35 V，50 mA | |
| 所需電源（DC） | + 24VDC（±10％）300mA以下（DC插孔.D-sub） | |
| 接頭（* 8） | 1 / 4F 900（標準），1/4 UJR，Rc1 / 4 | |
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | |
| 重量（* 9） | 約950g | |
（* 1）應為干燥氣體，無腐蝕性成分，灰塵，霧氣等的干凈氣體。
（* 2）使用專用軟件，可以更改氣體類型或在的滿量程范圍的30％至100％（CO2的30％至80％）內(nèi)更改滿量程范圍。
（* 3）流量校準單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。
（* 4）校準氣體：對于N2的保證。
（* 5）校準氣體：對于N2、流量范圍（滿量程）的精度。
（* 6）操作壓差可能因規(guī)格而異。
（* 7）不包括滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
（* 8）如需其他接頭，請另行詢問。
（* 9）不含接頭的重量。
尺寸圖
接線連接
