
結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
性能特點(diǎn)
1. 自動采集數(shù)據(jù),避免人為讀數(shù)誤差,精度高;2. 測量過程全自動化,效率高;
3. 可測量任意方向的回轉(zhuǎn)軸,可測量任意角度間隔,通用性強(qiáng);
4. 可自動生成誤差曲線和補(bǔ)償數(shù)據(jù),根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動計(jì)算定位精度結(jié)果,無需人工計(jì)算。

SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),以光波為載體,其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義,是高精度、高靈敏度測量儀器,廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、機(jī)床、自動化設(shè)備、線性位移平臺等領(lǐng)域的線性測量。