

SJ6000系列激光干涉儀檢測(cè)數(shù)控車床具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

▲主要鏡組圖
(線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。)產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào): SJ6000產(chǎn)品名稱: 激光干涉儀
穩(wěn)頻方式: 雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度: 0.04ppm
測(cè)量距離:≤(0-80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)
測(cè)量分辨力:1nm
測(cè)量至大速度:4m/s
線性測(cè)量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃
角度測(cè)量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測(cè)量距離,單位:m)
主要特點(diǎn):測(cè)量、恒測(cè)力、無阿貝誤差
SJ6000系列激光干涉儀檢測(cè)數(shù)控車床測(cè)量分辨率0.01″,系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″,基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。