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MKS P250A金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器

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公司名稱深圳市科銳詩汀科技有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/10/14 11:58:51
訪問次數(shù)204

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公司介紹主營產(chǎn)品

深圳市科銳詩汀科技有限公司，位于中國改革開放的前沿城市——深圳真空技術(shù)屬于實(shí)驗(yàn)物理的基礎(chǔ)技術(shù)的一個(gè)分支,是隨著原子物理、電子工業(yè)等領(lǐng)域的發(fā)展而發(fā)展起來的。超高真空的獲得和測量由阿爾培特在1950年基本建立以后,真空技術(shù)已與表面物理有了密切的聯(lián)系。改革開放以來，我國真空技術(shù)的應(yīng)用90%左右都是集中在傳統(tǒng)工業(yè)領(lǐng)域，如真空干燥、真空冶金、真空熱處理、真空吸附、真空鍍膜、真空浸漬干燥、真空蒸餾、濃縮以及真空排氣、真空包裝、制冷等行業(yè)。近年來，國外的真空技術(shù)應(yīng)用已從傳統(tǒng)的工業(yè)領(lǐng)域轉(zhuǎn)向半導(dǎo)體、平板顯示(LCD,PDP,OLED)、太陽能光伏電池、化學(xué)工業(yè)、生物制藥等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，真空系統(tǒng)已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面。正是在這樣的時(shí)代背景下，我公司致力于把*的真空技術(shù)、產(chǎn)品和設(shè)備引進(jìn)中國，為我們的客戶創(chuàng)造更多的價(jià)值。多年來，我們專注于真空及鍍膜設(shè)備行業(yè)，積累了豐富的專業(yè)知識(shí)和行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，誠信為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù), 在真空、光學(xué)、電子、半導(dǎo)體、平板顯示、LED、太陽能等相關(guān)領(lǐng)域，我們擁有了大量的優(yōu)質(zhì)客戶和合作伙伴，為他們提供技術(shù)、設(shè)計(jì)、產(chǎn)品、信息、配件等的服務(wù)，與客戶深入交流，緊密合作，共贏發(fā)展。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

高性能，大流量250slm質(zhì)量流量控制器P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器，能夠在100至250slm的氮?dú)鉂M量程流量范圍內(nèi)運(yùn)行，并具有的控制閥設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速的設(shè)定點(diǎn)響應(yīng)，同時(shí)保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量MFC

MKS P250A金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品信息

高性能，大流量250 slm質(zhì)量流量控制器

P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器，能夠在100至250 slm的氮?dú)鉂M量程流量范圍內(nèi)運(yùn)行，并具有的控制閥設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速的設(shè)定點(diǎn)響應(yīng)，同時(shí)保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量MFC。P250A具有快速的建立時(shí)間（不到2秒）和1％的設(shè)定點(diǎn)精度，勝過其他典型的高流量MFC。

· 流速從100到250 slm

· 設(shè)定值精度為1％的多氣體/多量程

· 模擬量I / O：0至5 VDC，4至20 mA

· 數(shù)字量I / O：DeviceNet，RS485，Profibus

技術(shù)指標(biāo)

滿量程流量范圍	100至250 slm（相當(dāng)于N2）	溫度顯示	0至85°C
入口壓力	150磅/平方英寸	溫度精度	±2°攝氏度
正常工作壓力差	25至45 psid（在MFC出口處為大氣壓）	溫度分辨率	0.1°攝氏度
耐壓	1000磅/平方英寸	顯示	數(shù)值為4位數(shù)字，單位為4個(gè)字符
爆破壓力	1500磅/平方英寸	配件類型	世偉洛克®8VCR®
控制范圍	滿量程的2％至100％	外部泄漏完整性	<1 x 10 ^-10（scc / sec He）
典型精度	滿量程的20％至100％時(shí)為設(shè)定值的±1％滿量程的2％至20％時(shí)為滿量程的±0.2％	封閉閥的泄漏完整性	在40 psia至vac（<500 mTorr）時(shí)，小于已配置滿量程的1.0％
重復(fù)性	讀數(shù)的±0.3％	濕材料	316L SS VAR，316 SS，Elgiloy，430FR，Buna-N，鎳，聚酰亞胺
解析度	讀數(shù)的0.1％	表面處理	平均Ra 10 µinch
零溫度系數(shù)	<滿量程的0.05％/°C	重量	3磅（1.4公斤）
跨度溫度系數(shù)	<讀數(shù)的0.08％/°C	合規(guī)	符合89/336 / EEC的CE
進(jìn)氣壓力系數(shù)	<讀數(shù)的0.02％/ psi	所需的DeviceNet輸入功率	每個(gè)DeviceNet™規(guī)格為+11至+25 VDC（@ <9瓦）
典型建立時(shí)間	50 psi以下時(shí)，通常在10％滿刻度以上<3秒（典型值）	DeviceNet連接器	5針微連接器
熱身時(shí)間	30分鐘	DeviceNet數(shù)據(jù)速率開關(guān)選擇	4個(gè)位置：125、250、500K（默認(rèn)），GM（可通過網(wǎng)絡(luò)編程）
工作溫度	10°至50°C	DeviceNet網(wǎng)絡(luò)規(guī)模	多達(dá)64個(gè)節(jié)點(diǎn)
儲(chǔ)存濕度	0至95％相對濕度，無凝結(jié)	DeviceNet網(wǎng)絡(luò)拓?fù)?/strong>	同一網(wǎng)絡(luò)電纜上的線性（中繼線/吊線）電源和信號
貯存溫度	-20°至80°C

特征

簡短的流程步驟性能

P250A的快速建立時(shí)間（少于2秒）和一（1）％的設(shè)定點(diǎn)精度的性能超過了其他典型的高流量MFC?？刂颇芰山档椭猎O(shè)備配置的滿量程的2％。這些功能與設(shè)備的多氣體/多量程功能相結(jié)合，擴(kuò)展了用戶的能力，可將MOCVD，硅外延，RTP和擴(kuò)散/氧化應(yīng)用所需的高流量MFC庫存降至。

多氣體/多量程功能

通過設(shè)備的嵌入式軟件和標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)接口，無需使用特殊軟件或硬件即可運(yùn)行，只需一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)Web瀏覽器和一臺(tái)PC，即可輕松實(shí)現(xiàn)多氣體/多量程功能的使用。對于使用中的典型高流量氣體，已經(jīng)在設(shè)備上存儲(chǔ)了重要的氣體參數(shù)。只需選擇氣體并滿量程流量范圍即可配置設(shè)備。該界面還允許用戶執(zhí)行設(shè)備診斷，繪制流程并存儲(chǔ)數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。