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高精度六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod

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公司名稱上海昊量光電設(shè)備有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/11/1 12:19:45
訪問次數(shù)237

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上海昊量光電設(shè)備有限公司是目前國內(nèi)光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，也是近年來發(fā)展迅速的光電代理企業(yè)。除了擁有一批專業(yè)技術(shù)銷售工程師之外，還有擁有一支強大技術(shù)支持隊伍。我們的技術(shù)支持團隊可以為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等工作。不但為客戶提供適合的產(chǎn)品，而且為客戶提供完善的服務(wù)是我們始終秉承的理念！

自2008年成立以來，昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷，致力于引進國外很具*性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品，為國內(nèi)前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前，昊量光電已經(jīng)與來自美國、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、精密光學(xué)元件等，所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國防等。

昊量光電堅持“專業(yè)源自專注，專注成就未來”的經(jīng)營理念。近年來，我們專注于前沿的細分市場，為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、*激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

秉承誠信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價值觀，昊量光電堅持以誠信為基石，憑借高效的運營機制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價值，實現(xiàn)各方共贏！

立足于光電產(chǎn)業(yè)，昊量光電始終堅持價值創(chuàng)造與創(chuàng)新，贏得客戶與合作伙伴的認(rèn)可，不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆，立志打造國際的代理服務(wù)品牌！

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六軸位移臺/六足位移臺HybridHexapod-高精度昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺HybridHexapod采用了與傳統(tǒng)6自由度(6-D)定位設(shè)備不同的方法，并以競爭力的價格展示了更高的性能

高精度六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod 產(chǎn)品信息

六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod-高精度

昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺Hybrid Hexapod采用了與傳統(tǒng)6自由度(6-D)定位設(shè)備不同的方法，并以競爭力的價格展示了更高的性能。六軸位移臺Hybrid Hexapod結(jié)合了精密XY單片工作臺、三腳架和連續(xù)旋轉(zhuǎn)的Theta- Z軸，而不是6個獨立的腿(和12個連接接頭)，提供的整體性能。這使得傳統(tǒng)的六足位移臺運動學(xué)過時了，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍上都有了數(shù)量級的改進，幾乎可以無限的XY行程，可編程的工具中心點位置。

六軸位移臺Hybrid Hexapod具有小于100nm的三維6軸點精度重復(fù)性，使其成為、、光子學(xué)、半導(dǎo)體、計量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項目的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。

傳統(tǒng)的六足位移臺無法達到亞微米的精度，因為它們需要精確協(xié)調(diào)所有六個軸的運動來完成一個運動輪廓，即使這個要求只是一個簡單的單軸運動。此外，盡管人們普遍認(rèn)為六足位移臺比串行堆疊的多軸系統(tǒng)表現(xiàn)出良好的剛度，但這實際上只是在垂直的“Z”軸上，在“XY”平面上存在弱點。

特點

高精度交叉滾柱導(dǎo)軌
直接讀取增量或使用編碼器控制所有承軸
線性電機和/或滾珠絲桿驅(qū)動器
無限制編輯工具中心點位置和坐標(biāo)位移
所有承軸零間隙

主要參數(shù)

XY軸行程60mm和100mm，蕞大450mm（無限制XY行程）
Z軸行程62mm（其他同類產(chǎn)品蕞大208mm）
Tip/Tilt 行程 ±30 Deg, 連續(xù)可調(diào) 360 Deg Theta-Z
XYZ 雙向重復(fù)性小于 ±100nm
角度雙向重復(fù)性小于 ±0.6 arc-sec
XY軸位移速度可達100mm/s，Z軸位移速度可達20mm/s Z (大于線性電機版)
線性不穩(wěn)定性小于20nm，角不穩(wěn)定性小于0.1 arc-sec

應(yīng)用

非球面和自由光光學(xué)檢測
封裝與探測硅光子
激光微加工（非平面基板和錐度控制）
晶圓測量
相機模塊的對準(zhǔn)與裝配
傳感器/圖像穩(wěn)定性測試
光學(xué)元件的耦合

迷你六軸位移臺MINI Hybrid Hexapod

迷你六軸位移MINI Hybrid Hexapod是自動鏡頭對準(zhǔn)/粘接到陣列的理想選擇。它在構(gòu)建相機陣列模塊、平移式OIS、用于手機相機和等日常產(chǎn)品中的微型相機

的望遠鏡集成鏡頭方面都很有幫助。任何需要6度自由定位的納米/弧秒級增量運動和重復(fù)性的應(yīng)用都非常適合該產(chǎn)品，因為產(chǎn)品傳感器分辨率的提高推動了對更高精度的需求。

大角度六軸位移臺Angulares Hybrid Hexapod

到目前為止，大角度六軸位移臺Angularstm Hybrid Hexapod的60度tip/tilt行程是市面上任何六自由度(6-DOF)定位器所能提供的zui大角度行程范圍。它非常適合應(yīng)用于非球面和自由曲面光學(xué)計量，硅光子學(xué)封裝和探測，激光微加工(非平面基片和錐度控制)，晶圓計量，相機模塊對準(zhǔn)和裝配，傳感器/圖像穩(wěn)定測試，以及光學(xué)元件和光纖對準(zhǔn)。

大角度六軸位移臺具有精密交叉滾子軸承導(dǎo)軌，光學(xué)增量或編碼器反饋在所有軸，直線電機和/或伺服滾珠絲杠驅(qū)動器，無限可編程的工具中心點位置和坐標(biāo)偏移，和零后座力。它能夠無限XY位移,Z軸位移在使用其它三腳架模式下62mm增加到208mm，連續(xù)360度Theta-Z下的60度tip/tilt行程(+/- 30度)， XYZ雙向重復(fù)性小于+/- 0.6角秒，速度高達100mm/s XY和Z，小于10nm的線性和0.1弧秒的小增量角運動。

ALIO’s Hybrid Hexapod® 為 6D Motion 提供了一種革命性的方法，與傳統(tǒng)的六足設(shè)計相比，精度高出一個數(shù)量級，行程更長，速度更快，剛度更大。