高精度亞納米
法國PIEZOCONCEPT壓電納米平移臺是以壓電陶瓷為驅(qū)動，采用柔性鉸鏈連接，選用比傳統(tǒng)電容位移傳感器性能更優(yōu)的Si-HR 傳感器，具有更高的穩(wěn)定性和閉環(huán)精度?，F(xiàn)可提供一維/二維/三維（X、Z、XY及XYZ）精密壓電納米、儀和快速偏擺臺等產(chǎn)品，一維位移臺行程可達1500um（MAX）。支持短周期、低費用的定制服務。
采用硅基高精度硅基位移傳感器（Si-HR 傳感器）閉環(huán)反饋，使平臺擁有毫秒級響應速度，亞納米級的分辨率，超低底噪（10-50pm）和超高線性度（0.02%）。配備16Bit高分辨率高速控制器，支持模擬/數(shù)字信號控制。被廣泛應用于，、系統(tǒng)、原子力顯微鏡、體容積成像、顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、等領域。 受到國內(nèi)外工業(yè)領域和科研領域的。
| 主要特點 | 主要應用 | |
高分辨率：0.005nm/urad（Max） 超大行程：1500um（Max） 超低底噪：10-50pm 超高速：諧振頻率7000Hz（Max） 高性能傳感器：Si-HR 傳感器 柔性鉸鏈：高可靠、長壽命 緊湊設計 可用于真空環(huán)境 | 超分辨顯微 原子力顯微鏡 干涉測量 精密光學 /掃描 光鑷 納米刻蝕 |
1）單軸
單軸壓電平臺是可以在單個維度上提供精確定位的產(chǎn)品，主要包含X軸壓電平臺、Z軸壓電平臺、物鏡、快速反射鏡。
① X軸壓電平臺
可提供各類大行程/高精度、中空/非中空類型的產(chǎn)品
型號 | AU-HS1 | AU-HS1H | AU-CX | AU-LF1 | AU-SLR |
產(chǎn)品圖片 |
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行程(μm) | 10/30/50/70/100 | 30/50/70/100 | 100/200 | 100/200/300 | 300/500/800/1500 |
分辨率(nm) | 0.01/0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.1/0.2 | 0.1/0.2/0.3 | 0.3/0.5/0.8/1.5 |
重復精度（全行程）nm | 0.02/0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.2/0.4 | 0.2/0.4/0.6 | 0.6/1/1.6/3 |
本底噪聲nm | 0.001/0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.01/0.02 | 0.01/0.02/0.03 | 0.03/0.05/0.08/0.15 |
| 傳感器 | 硅傳感器閉環(huán)反饋 | ||||
| 產(chǎn)品特點 | 超高速，高精度 | 高精度大通孔可用于倒置顯微鏡 | 大通孔可用于生物樣品掃描 | 超大行程 | |
②Z軸壓電平臺
型號 | AU-Z-stage | AU-C.Z | Z-insert | Z-insert-K-TYPE | LT-Z |
產(chǎn)品圖片 |
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行程(μm) | 5/10/25/50 | 100/200 | 100/200/300/500 | 100/200/300 | 100/200/300/500 |
分辨率(nm) | 0.005/0.01/0.025/0.05 | 0.1/0.2 | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3/0.5 |
重復精度(nm) | 0.01/0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.4 | 0.2/0.4/0.6/1.0 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6/1.0 |
本底噪聲nm | 0.0005/0.001/0.0025/0.005 | 0.01/0.02 | 0.01/0.02/0.03/0.05 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03/0.05 |
傳感器 | 硅傳感器閉環(huán)反饋 | ||||
③物鏡掃描臺
型號 | FOCHS.100 | |
產(chǎn)品圖片 |  |
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行程(μm) | 100 | 100/200/300/500 |
分辨率(nm) | 0.1 | 0.1/0.2/0.3/0.5 |
全行程重復精度(nm) | 0.2 | 0.2/0.4/0.6/1.0 |
本底噪聲nm | 0.01 | 0.01/0.02/0.03/0.06 |
傳感器 | 硅傳感器閉環(huán)反饋 | |
④一維
型號 | AU-TT1 |
產(chǎn)品圖片 |
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角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(urad) | 0.005/0.01 |
全行程重復精度（urad） | 0.01/0.02 |
本底噪聲（urad） | 0.0005/0.001 |
傳感器 | 硅傳感器閉環(huán)反饋 |
2）兩軸壓電平臺
兩軸壓電平臺可以提供兩個維度上的平移或偏轉(zhuǎn)，主要包括XY二維壓電納米位移臺和二維快反鏡
①XY壓電平臺
型號 | LFHS2 | C2. | LFS2 | LT2 | BIO2 |
產(chǎn)品圖片 |
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行程(μm) | 30/50/75 | 100/200 | 100 | 100/200/300 | 100/200/300 |
分辨率(nm) | 0.03/0.05/0.075 | 0.1/0.2 | 0.1 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 |
重復精度(nm) | 0.06/0.1/0.15 | 0.2/0.4 | 0.2 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 |
本底噪聲(nm） | 0.003/0.005/0.0075 | 0.01/0.02 | 0.01 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 |
傳感器 | 硅傳感器閉環(huán)反饋 | ||||
②二維快反鏡
型號 | |
產(chǎn)品圖片 |
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偏轉(zhuǎn)角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(μrad) | 0.005/0.01 |
全行程重復精度（μrad） | 0.01/0.02 |
本底噪聲（μrad） | 0.0005/0.001 |
傳感器 | 硅傳感器閉環(huán)反饋 |
3）三軸壓電平臺
產(chǎn)品圖片 | 描述 | 行程 |
| LT3是一款三維壓電平臺，可提供100,200或300微米的行程。平臺使用硅傳感器，整體厚度只有20mm，該平臺很容易集成到倒置顯微鏡中 | X-Y-Z |
| BIO3是一款超低剖面的三維納米可集成在任何倒置顯微鏡中。載玻片可以放置在其矩形孔中 | X-Y-Z |
| LF3是緊湊型3軸壓電平臺，具有66mm方孔，X軸和Y軸行程范圍為100μm，200μm或300μm，Z軸行程為50μm。 建議要求小尺寸和通光孔時使用。 | X-Y: Z: 50μm |
| LFS3是一款3軸納米定位平臺，X，Y行程為100μm，Z行程20um，通光孔徑40 x 40 mm。 | X-Y: 100μm 20μm |
| LFHS3是一款高速三軸納米定位臺，諧振頻率高于2k，通光孔徑達66x66mm，可實現(xiàn)高速掃描，階躍時間可達2ms | X-Y: 75μm Z: 50μm |
| LTHS3是一款超薄高速三維定位平臺，可配合任何倒置顯微鏡使用，可實現(xiàn)高速掃描 | X-Y: Z: 50μm |
| C3是一款緊湊型平臺，是對準、雙光子聚合、激光直寫等應用的理想產(chǎn)品 | X-Y-Z 200μm |
| SPM3平臺的Z軸具有高達50μm的行程范圍，諧振頻率高達12.5kHz，當與高功率控制器一起使用時，SPM3.5的Z軸的階躍響應時間可以小于毫秒。因此，SPM平臺專為要求苛刻的計量應用而設計，例如原子力顯微鏡。 | X-Y: Z: 5μm 10μm 25μm 50μm |
| SPM3LR壓電平臺是三維納米定位平臺，X軸和Y軸的位移為 100μm，200μm或300μm。 Z軸部分的行程MAX可達50μm并具有高達12.5kHz的諧振頻率。 SPM3LR.xxx.05的Z軸的階躍響應時間可以小于毫秒。 因此，SPM3LR設計用于要求苛刻的計量應用，例如原子力顯微鏡。 | X-Y: 200μm 300μm Z: 5μm 10μm 25μm 50μm |
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