顯微激光測振儀
顯微激光測振儀特點：
非接觸測量，無負(fù)載；
激光光斑極小，微米級；
*的帶寬和動態(tài)范圍；
高空間分辨率；
工作距離可選；
高靈活性、易安裝、易操作；
振動傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測量精度高
配有同軸照明裝置和相機(jī)，可以方便迅速地確定測量位置。
顯微激光測振儀擴(kuò)展功能：
利用顯微鏡視頻閃頻技術(shù)測量物體面內(nèi)振動特性(可定制)
通過白光干涉測量物體形貌特性(可定制)
顯微激光測振儀應(yīng)用領(lǐng)域：
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）動態(tài)測試
生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、動物學(xué)研究，如昆蟲等生物的活體的振動特性測量
計算機(jī)外設(shè)的動態(tài)測試：硬盤驅(qū)動器、光盤機(jī)、磁帶機(jī)、頭/盤接口等；
超聲振動測量
壓電陶瓷振動測量
弦線/絲線振動特性測量
微型陀螺儀振動測量
| 顯微激光測振儀技術(shù)參數(shù) | |
| 工作溫度 | 3℃ - 45℃ |
| 工作濕度 | <90% |
| 電 源 | 220 - 240Vrms，50-60Hz |
| 激光波長 | He-Ne Laser 632.8nm |
| 速度量程① （可選） | 50mm/s，100mm/s，500mm/s 1m/s，5m/s，10m/s |
| 輸出電壓 | ±10V |
| 頻率范圍 | DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz （根據(jù)解調(diào)卡而定） |
| 濾波設(shè)置 | 高通低通濾波設(shè)置 |
| 速度分辨率② | 1um/s |
| 位移分辨率 | 0.008nm @ 20KHz 0.32nm @ 500Hz |
| 大線性誤差 | 1.00% |
| 機(jī) 架 （標(biāo)準(zhǔn)配置） | 反射用機(jī)架，低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。 粗調(diào)行程25mm，微調(diào)精度0.001mm。 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 |
| 光學(xué)參數(shù) | 檢測器尺寸：1/2 測量距離：9mm（使用10X物鏡時） |
| 觀測裝置 | CMOS數(shù)碼相機(jī)： 320萬像素（USB2.0） |
注 ① 可以根據(jù)客戶要求選擇適當(dāng)量程
②采用高分辨率解調(diào)卡，速度分辨率可達(dá)0.02um/s
