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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

主動(dòng)隔振系統(tǒng)(電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備專用)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海良允科學(xué)儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)αL4X-911R
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/4/20 12:04:13
  • 訪問次數(shù)221
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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上海良允科學(xué)儀器有限公司(簡(jiǎn)稱“良允科儀”)是一家專業(yè)從事*光電儀器研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及引進(jìn)國(guó)外光電產(chǎn)品的高科技技術(shù)企業(yè)。主要提供的光電產(chǎn)品有:科研級(jí)隔振光學(xué)平臺(tái)、拉曼光譜儀、各類光譜系統(tǒng)、激光/激光量測(cè)產(chǎn)品、科研相機(jī)/探測(cè)器、運(yùn)動(dòng)控制及光機(jī)械產(chǎn)品、太陽能電池測(cè)試設(shè)備等。 我們一直秉承以用戶需求為核心,在專注科研級(jí)光學(xué)平臺(tái)、拉曼光譜等核心技術(shù)市場(chǎng)的同時(shí),已經(jīng)為超過一百家高??蒲性核肮I(yè)客戶提供了成套和部分的解決方案&服務(wù),專業(yè)、用心的服務(wù)贏得了眾多用戶的信賴和好評(píng)。 我們的宗旨是“快速響應(yīng)、謀求合作,一次合作,終生朋友”!以“專注質(zhì)量、用心服務(wù)”為核心價(jià)值,為用戶提供專業(yè)、可靠的技術(shù)方案及優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。 除了自主品牌的光學(xué)平臺(tái)外,公司代理的品牌有:德國(guó)WITec、美國(guó)Newport、英國(guó)Andor、日本Jasco、美國(guó)ASI、美國(guó)EmVision、美國(guó)Photon Systems、美國(guó)IPS、日本TOKKYOKIKI、中國(guó)Time-Tech Spectra等。
日本特許機(jī)器株式會(huì)社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商,一臺(tái)主動(dòng)式除振裝置實(shí)用機(jī)由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會(huì)上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究,精密穩(wěn)定,堅(jiān)固耐用的防振產(chǎn)品、振動(dòng)分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備,以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求
主動(dòng)隔振系統(tǒng)(電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備專用) 產(chǎn)品信息

日本特許機(jī)器株式會(huì)社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商,一臺(tái)主動(dòng)式除振裝置實(shí)用機(jī)由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會(huì)上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究,精密穩(wěn)定,堅(jiān)固耐用的防振產(chǎn)品、振動(dòng)分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備,以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求。

αL4X-911R1主動(dòng)式隔振平臺(tái)是結(jié)合了空壓(低頻)和線性馬達(dá)(高頻)的兩種優(yōu)點(diǎn),專為掃描電子顯微鏡而設(shè)計(jì)的高精密隔振平臺(tái)。

本主動(dòng)隔振系統(tǒng)可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng),在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項(xiàng)性能。


αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度傳感器檢測(cè)地板的振動(dòng),通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動(dòng)控制,由氣動(dòng)和線性馬達(dá)執(zhí)行器來實(shí)現(xiàn)振動(dòng)衰減,消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場(chǎng)地的細(xì)微振動(dòng),滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動(dòng)值。

技術(shù)參數(shù):

名稱

技術(shù)參數(shù)和指標(biāo)

主動(dòng)隔振平臺(tái)

標(biāo)準(zhǔn)外形尺寸:902×1102×152(浮起時(shí)155)mm

其他尺寸可定制

主動(dòng)隔振單元

內(nèi)含加速度傳感器,位移傳感器及空氣伺服閥。

隔振范圍

0.5Hz~100Hz

隔振效果(值)

0.5Hz~1Hz:≤-20dB

1Hz~10Hz:-20dB ≤-40dB

10Hz以上:≥ -40dB

加速度傳感器

頻率范圍:DC-400Hz

最小分辨率:≤1*10-6m/sec2

耐沖擊參數(shù):1000m/sec2

位移傳感器

最小分辨率:≤3um

行程范圍:1-5mm

控制器

輸入/輸出控制信號(hào)采樣頻率

加速度:2000Hz 位移:125Hz

分辨率 輸入:18bit 輸出:16bit


暫無評(píng)價(jià)

15700106413
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