用于實(shí)時(shí)正交位置反饋的補(bǔ)償系統(tǒng)。
在非真空環(huán)境下使用任何激光尺系統(tǒng)時(shí),都要求某些形式的環(huán)境補(bǔ)償來(lái)維持各種環(huán)境條件下的精度。干涉測(cè)量的原理取決于激光的波長(zhǎng),該值會(huì)根據(jù)傳播激光的空氣的折射率而產(chǎn)生微小變化。
±1 °C的氣溫變化、±3.3 mbar的氣壓變化或者50%相對(duì)濕度變化,這些環(huán)境變化會(huì)使激光波長(zhǎng)和測(cè)量結(jié)果之間產(chǎn)生1 ppm的差異。
RCU10單元的輸入和輸出參數(shù)使用雷尼紹配置軟件 (RCU-CS) 進(jìn)行配置??赏ㄟ^(guò)此頁(yè)面底部的鏈接進(jìn)行下載。
特性與優(yōu)點(diǎn)
精度 — 采用氣壓和溫度傳感器對(duì)激光尺進(jìn)行折射率補(bǔ)償,可將精度提高到±1 ppm以?xún)?nèi)。
生產(chǎn)率提高 — 利用材料溫度傳感器對(duì)工件和機(jī)器的熱膨脹影響進(jìn)行補(bǔ)償,可極大提高加工重復(fù)精度。
靈活性 — RCU10可對(duì)多種輸出數(shù)字正交反饋信號(hào)的激光尺和直線光柵進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
配置RCU10系統(tǒng)
定義RCU10系統(tǒng)時(shí),應(yīng)考慮以下選項(xiàng):
RCU10補(bǔ)償單元可附帶或不附帶內(nèi)置壓力傳感器(分別為RCU10-PX-XX和RCU10-XX-XX)
對(duì)于多軸系統(tǒng),最多可通過(guò)高速串行通信鏈接連接6個(gè)RCU10。如果作為多軸系統(tǒng)的一部分,僅需一個(gè)RCU10-PX-XX。
空氣溫度傳感器
材料溫度傳感器
規(guī)格
特性 折射率補(bǔ)償
材料膨脹補(bǔ)償精度 ±1 ppm* 數(shù)據(jù)格式 數(shù)字 - RS422正交信號(hào)
模擬 - 1 Vpp正弦/余弦信號(hào)分辨率 數(shù)字 - 可變化至10 nm
模擬 - 可變化至20 µm速度 可達(dá)5 m/s * 數(shù)字輸出狀態(tài)下,須最多加上3個(gè)輸入脈沖數(shù)和1個(gè)輸出脈沖數(shù);在某些模擬輸出狀態(tài)下,須再加上速度跟隨誤差。
可選備件
還提供大量可選附件,與RCU10實(shí)時(shí)正交補(bǔ)償單元配合使用。
A-8014-0670 串行 / USB轉(zhuǎn)接頭 RCU10-DB-XX 傳感器分配盒 RCU10-AC-X5 傳感器鎧裝電纜 (5 m) RCU10-AT-XX 空氣溫度傳感器 RCU10-MT-XX 材料溫度傳感器