*牛津CMI760臺式銅厚測試儀測試原理：
孔銅(ETP)測試原理
通過渦流的原理來測量的,ETP探頭上有一根探針,探針是由兩個線圈組成的,測量時其中一個線圈發(fā)射電磁場，導體內部自由電子在電磁場中做圓周運動，產生回旋電流（即渦流），渦流再產生一個與該線圈產生的電磁場方向相反的電磁場，由另一個線圈接收，產生電信號，由于孔銅厚度不同而此信號大小不同而測量出孔銅厚度。這樣可以看出金屬的電導率不同其產生電信號強弱也不同,所以測出的厚度也不一樣．所以要設定基材銅(面銅)﹑板厚和蝕刻前后項目.
*牛津CMI760臺式銅厚測試儀型號說明：
| 型號 | CMI760 | CMI760E | 備注 |
| 名稱 | 臺式面銅測厚儀 | 臺式孔、面銅測厚儀 |
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| 標配 | l 700 SERIES主機及證書 l SRP-4面銅探頭（內含SRP-4探針） l NIST認證的面銅標準片及證書 | l 700 SERIES主機及證書 l SRP-4面銅探頭（內含SRP-4探針） l NIST認證的面銅標準片及證書 l ETP孔銅探頭 l NIST認證的ETP標準片及證書 | SRP-4探針又稱水晶頭 |
| 選配 | l SRG軟件：數據不可編輯 l SRGD軟件：帶數據庫 |
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700 SERIES主機參數：
l 存 儲 量：8000字節(jié)，非易失性
l 尺 寸：長×寬×高292.1×270×140mm
l 重 量：2.79Kg
l 電 源：AC220V
l 單位轉換：通過一個按鍵實現英制和公制的自動轉換
l 單 位：可選mils 、μm、μin、mm、in或%為顯示單位
l 接 口：RS-232 串行接口，波特率可調，用于下載至打印機或計算機
l 顯 示：帶背光和寬視角的大LCD液晶顯示屏，480(H)×32(V)象素
l 統(tǒng)計顯示：測量個數，標準差，平均值，zui大值，zui小值
l 統(tǒng)計報告：需配置串行打印機或PC電腦下載，存儲位置，測量個數，銅箔類型，線形銅線寬，測量日期/時間，平均值，標準差，方差百分比，準確度，zui高值，zui低值，值域，CPK 值，單個讀數，時間戳，直方圖
l 圖 表：直方圖，趨勢圖，X-R 圖
ETP孔銅探頭參數：
l 準確度：5%，參考標準片
l 精確度：1.2 mil 時，1.0% （典型情況下）
l 分辨率：0.01 mils (0.25 μm)
l 電渦流：遵守ASTM E37696 標準的相關規(guī)定
l 測量厚度范圍：2--102μm （0.08 -- 4.0 mils）
l 孔zui小直徑：Φ35 mils (Φ899 μm)
l 孔徑范圍：Φ0.899 mm--Φ3.0 mm
l 工作特點：應用電渦流測試技術。測量時利用探頭釋放出電磁波，當磁場切割金屬層時會發(fā)生磁場變化，通過計算此變化量計算出孔壁銅厚度。測量不受板內層影響，即使是雙層板或多層板，甚至在有錫或錫/鉛保護層的情況下，同樣能夠良好工作。另外，探頭采用溫度補償技術，即使是剛從電鍍槽內取出的板，也能測量孔銅厚度。
電渦流原理
*牛津CMI760臺式銅厚測試儀SRP-4面銅探頭參數：
l 準確度：5%，參考標準片
l 精確度：化學銅：標準差0.2 %，電鍍銅：標準差0.3 %
l 分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils<1mil
l 厚度測量范圍：化學銅：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）
電鍍銅：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）
l 線性銅線寬范圍：203μm–7620μm（8mil–300mil
l 工作特點：應用*的微電阻測試技術。系繩式探頭由四支探針組成，AB為正極CD為負極；測量時，電流由正極到負極會有微小的電阻，通過電阻值和厚度值的函數關系準確可靠得出表面銅厚，不受絕緣板層和線路板背面銅層影響。耗損的SRP-4探針可自行更換，為牛津儀器產品。探頭的照明功能和保護罩方便測量時準確定位。
