Nano Indenter G200是一套完整的納米力學(xué)顯微探針系統(tǒng)，其功能包括了納米壓痕、納米劃痕以及納米力學(xué)顯微鏡等。整個測試流程都是全自動的，這樣就提高了測試數(shù)據(jù)的可靠性和可重復(fù)性。
G200主要特性與技術(shù)指標(biāo)
符合 ISO 14577 標(biāo)準(zhǔn)的測量結(jié)果
具有更大動態(tài)范圍的電磁驅(qū)動器
具有靈活性，以及針對可重復(fù)使用或全新應(yīng)用的可升級能力
通過壓痕深度處的連續(xù)剛度測量，實現(xiàn)動態(tài)特性表征
實時控制、簡便的協(xié)議開發(fā)和漂移補(bǔ)償
優(yōu)勢
精確的測量結(jié)果，高度的再現(xiàn)性，符合IS014577國際標(biāo)準(zhǔn)，GB／T 22458-2008國家標(biāo)準(zhǔn)。
載荷和位移的動態(tài)測量范圍在同類產(chǎn)品中
利用連續(xù)剛度測量技術(shù)對壓入深度方向的動態(tài)力學(xué)性能進(jìn)行精確的表征
應(yīng)用
半導(dǎo)體材料
薄膜材料
微機(jī)電系統(tǒng)
硬質(zhì)涂層
DLC膜
生物材料
Nano Indenter G300配備支持試樣直徑為12英寸的樣品臺,可對各種不同尺寸晶圓片直接進(jìn)行力學(xué)性能檢測，不需要破壞晶圓片就可以獲得上面任意位置的力學(xué)性能，整個實驗過程全自動控制，避免了可能的人為因素的影響，確保每個測試都是合理、一致、精確。
優(yōu)勢
配有大樣品臺，樣品直徑可達(dá)300毫米
全自動控制，避免人為因素影響測試結(jié)果
應(yīng)用范圍廣泛，升級方便
利用連續(xù)剛度測量技術(shù)對壓入深度方向的動態(tài)力學(xué)性能進(jìn)行精確的表征
精確的測量結(jié)果，高度的再現(xiàn)性，符合IS014577國際標(biāo)準(zhǔn)，GB／T 22458-2008國家標(biāo)準(zhǔn)。
應(yīng)用
半導(dǎo)體材料
微機(jī)電系統(tǒng)
薄膜材料
復(fù)合材料
金屬材料
陶瓷制品
