低溫等離子體是繼固態(tài)、液體、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子核自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解并發(fā)生后續(xù)各種反應(yīng)，從而達到降解污染物的目的。 
一、工作原理：
采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，等離子體被稱為物質(zhì)第4形態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體。以每秒800萬次至5000萬次的速度反復(fù)轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發(fā)生氧化等一系列復(fù)雜的化學反應(yīng)，再經(jīng)過多級凈化，將有害物轉(zhuǎn)化為潔凈的空氣釋放至大自然。
二、工藝流程圖：
三、工藝流程描述
1、廢氣經(jīng)系統(tǒng)收集后首入裝置前端的預(yù)處理系統(tǒng)，主要功效：降溫、去除部分粉塵顆粒。
2、之后進入低溫等離子體反應(yīng)凈化倉，有機分子受激發(fā)發(fā)生分子鍵斷裂，同時強氧化性植物會與有機分子發(fā)生反應(yīng)，使其分解，從而促進消除。同時，廢氣中顆粒會產(chǎn)生荷電降塵作用沉積在負極板，在重力作用下流淌出來。
3、由于氣體在等離子體反應(yīng)器中停留時間很短，氣體處理后還含有少量小分子有機酸或有機酸等物質(zhì)，為消除廢氣中的二次污染，經(jīng)等離子體處理后的廢氣可進入堿洗滌塔中進行深度處理，達到消除異味的目的。凈化后的氣體經(jīng)煙囪達標排放。
四、維護經(jīng)濟效益：
可靠穩(wěn)定，凈化設(shè)備無需日常維護，只需接通電源，即可正常工作，運行維護費用極低。
五、效率：
脫臭凈化效果可達95%以上，大大超過國家1993年頒布的惡臭物質(zhì)排放標準。
六、其它：
可依據(jù)空間設(shè)計成立式或臥式，占地空間??；能耗低，單位能耗3-5W/Nm3 。
七、適用范圍：
1.含氮化合物：甲胺、二甲胺、DMF等。
2.氯氟烴類物質(zhì)：CF2ClBr、CF3Br、 CF3Cl、氯丁二烯等。
3.含硫化合物： H2S、CS2、二甲二硫、硫醇、硫醚等。
4.苯系物：苯、甲苯、二甲苯、苯乙烯等。
5.VOCs類廢氣: 烴、芳烴、脂、酯、醇、醛、酮、醚等。
6.其他惡臭氣體。
