有效攔截大顆粒,不改變?cè)蓄w粒分布
專為半導(dǎo)體廠 CMP 工藝點(diǎn)位 Slurry 的過濾設(shè)計(jì)??舍槍?duì)不同 Slurry 成分以及客戶工藝差異點(diǎn)組合搭配合理的濾材,更科學(xué)的濾材搭配使得產(chǎn)品有效攔截大顆粒的同時(shí)不會(huì)改變?cè)?Slurry 的顆粒分布。
產(chǎn)品特色
- 更高的濾效與更長(zhǎng)的濾芯壽命
- 濾芯搭配多樣化
- 拆裝便捷省時(shí)間
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體 Slurry 過濾