應(yīng)用范圍廣
可實(shí)現(xiàn)快速拆裝
Polyflora E 系列光化學(xué)過(guò)濾器為一字型排布接口,F(xiàn) 系列為三角形排布接口,搭配管路接頭均可實(shí)現(xiàn)快速拆裝,適用于去離子水、顯影液、光抗蝕劑等光化學(xué)試劑,應(yīng)用范圍廣泛。
產(chǎn)品特色
- 化學(xué)兼容性:顯影液、光抗蝕劑等光化學(xué)試劑
- 低析出:金屬離子、有機(jī)物、非揮發(fā)性殘留物物質(zhì)低析出管控
- 超凈工藝:加強(qiáng)清洗技術(shù)減少顆粒脫落和微氣泡形成
- 靈活適配:多種膜材料(UPE、Nylon、PTFE)和截留精度(3 nm 至 200 nm)可選。
典型應(yīng)用
- EUV、ArF、KrF 光刻膠
- 顯影液
- 溶劑類