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廣電計量檢測集團股份有限公司

等離子體修飾系統

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具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱安徽澤攸科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地銅陵市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2025/7/9 11:41:06
  • 訪問次數21
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澤攸科技成立于2016年,擁有安徽銅陵、北京、上海和東莞四家分公司,是一家具有自主知識產權的精密儀器高科技公司。公司專注于掃描電鏡、原位測量系統、臺階儀、探針臺、電子束光刻機等精密設備的研究,國家在科學精密儀器領域的諸多空白。人才是企業(yè)的核心競爭力和發(fā)展的驅動力。澤攸科技于20世紀90年代便開啟電子顯微鏡及相關原位附件的研發(fā),已逐步打造成為科學精密儀器領域人才聚集地?,F有員工100多人,其中院士、專家團隊20余人,擁有精通機械、光學、超高真空、電子技術、微納加工技術、軟件開發(fā)技術的專業(yè)團隊。為解決行業(yè)內“卡脖子”難題,企業(yè)全力培養(yǎng)人才,重視產學研用合作,并與十幾家高校及科研院所建立了長期合作機制,以應用為導向,共同開展行業(yè)內關鍵共性技術開發(fā)。雄厚的技術與人才實力,贏得了客戶的深厚信賴。在許智博士的帶領下,從項目建設、平臺搭建、產品創(chuàng)新抓起,公司實現快速發(fā)展,產量、銷售、利潤逐年大幅增長。承擔和參與了國家重點研發(fā)計劃、國家重大科研裝備研制項目等多個重量級科研項目,如“低溫強磁場綜合物性測量儀”項目和“高通量生物樣品真空傳遞裝置”項目的立項,并獲得包括北京市科學技術一等獎在內的多次省部級獎項。構建了“產學研用”協同技術創(chuàng)新機制,多次實現國內材料表征測量設備的“國產替代”,相關產品具有較好的國際聲譽、產品檢測數據被國際盛名期刊采納。桌面式掃描電子顯微鏡、大行程納米位移臺、臺階儀等產品實現了國產化零的突破,等離子體化學氣相沉積系統、掃描隧道顯微鏡系統等產品達到國內外優(yōu)異水平。核心產品經過眾多企業(yè)驗證,已進入大規(guī)模量產階段,現已得到數百個高質量用戶的盛贊,遍布國內27個省級行政區(qū),不僅覆蓋中國多個科學實驗室,還遠銷海外等發(fā)達國家,在業(yè)內享有高度好評。經過二十多年的技術積累,以及一支專業(yè)的研發(fā)與生產團隊,澤攸科技以自主知識產權的技術為核心,在半導體芯片加工和材料表征測量領域屬于國內。關鍵半導體加工與材料表征測量儀器設備實現國產化,關鍵之處就在于實現自主可控。未來,澤攸科技還將繼續(xù)堅持“用精密量測賦能科技創(chuàng)新”的理念,以“科技指領”打破進口納米科學儀器設備的壟斷,聚焦新材料、新能源、半導體、生物醫(yī)藥、基礎科研等前沿領域,實現自主研發(fā),打造集微納米加工、微納表征、微納操縱于一體的納米技術全產業(yè)鏈解決方案,加速國產科學科研儀器產業(yè)落地,助力國產科學儀器健康蓬勃發(fā)展。
臺階儀
等離子體修飾系統,利用澤攸自創(chuàng)的三溫區(qū)管式爐,通過氧氣輔助化學氣相沉積技術,在藍寶石襯底上外延生長了大尺寸、高質量的單層二硫化鉬薄膜。在生長過程中引入氧氣,不僅能夠有效的阻止三氧化鉬源中毒,降低形核密度,而且還能減小硫空位密度,從而實現了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長。
等離子體修飾系統 產品信息

等離子體修飾系統,利用澤攸自創(chuàng)的三溫區(qū)管式爐,通過氧氣輔助化學氣相沉積技術,在藍寶石襯底上外延生長了大尺寸、高質量的單層二硫化鉬薄膜。在生長過程中引入氧氣,不僅能夠有效的阻止三氧化鉬源中毒,降低形核密度,而且還能減小硫空位密度,從而實現了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長。

利用等離子體修飾系統,在自限生長的前提下,目前已實現了兩英寸晶圓級高質量單層二硫化鉬的外延生長(99%覆蓋度,成膜均勻),并通過改進轉移設備,實現了晶圓級薄膜的且襯底無損轉移。單層二硫化鉬薄膜均勻覆蓋在整個藍寶石襯底上,而且沒有縫隙,沒有重疊層。 薄膜由晶粒尺寸為 1 微米,相對取向為 60 º的晶粒拼接而成。成型薄膜只包含 60 º晶界。


• 等離子體修飾系統產品優(yōu)勢

△ 有效避免固態(tài)源中毒;

△ 成膜均勻性好;

△ 成膜面積大;

△ 快速、生長速度可控。

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