壓電傾轉(zhuǎn)位移臺RA-3402A,通過壓電陶瓷驅(qū)動,具有定位精準,位置保持性好,自帶鎖緊,能360°無限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后,可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制,適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
• 應(yīng)用案例
△ 電子顯微鏡原位納米探針臺
△ 半導體芯片檢測
△ 光刻機工件臺
△ 微生物操縱手
△ 光纖焊接
△ 超精密組裝
△ 精密檢測與測量
△ 高精度激光對焦
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