特點
?性能和成本的平衡,具有性價比
?低噪數(shù)字式輪廓傳感器
?大量程高精度輪廓測量、微觀輪廓度測量
測量范圍
項目 | 測量范圍 | 分辨率 |
傳感器 | 25mm | 0.05μm |
驅(qū)動器 | 150mm | 0.2μm |
立柱 | 420mm | - |
技術(shù)規(guī)格
技術(shù)參數(shù) | 線性精度1 | ≤±(0.8+ |0.12H |)μm |
圓 弧2 | ≤±(1.5+R/12)μm | |
角度3 | ≤±1' | |
直線度 | ≤0.5μm/100mm | |
運動控制 | X軸驅(qū)動方式 | 電動 |
Z軸驅(qū)動方式 | 電動 | |
X軸驅(qū)動速度 | 0.05~15mm/s | |
Z軸驅(qū)動速度 | 0.2-15mm/s |
注:
1、H 為的測量高度;
2、2mm < R < 10mm 的標(biāo)準(zhǔn)球,取樣圓弧夾角為 120°;
3、60°、90°的角度塊,角邊取樣長度為 5mm;
4、λc 為 2.5mm,測量速度≤ 0.3mm/s,測量平晶;
5、以上參數(shù)均在 20℃ ±2℃,階梯溫度不超過 2℃ /h 和地面振動 RMS < 50Hz 2.5μm/s 且 RMS >50Hz 5.0μm/s 的環(huán)境下測得。