特點(diǎn)
?性能和成本的平衡,具有性價(jià)比
?采用氣浮主軸,精度保持更持久,穩(wěn)定性好
?雙軸帶光柵反饋,測量功能更全面
?多截面評(píng)價(jià)圓柱度,更精準(zhǔn)
測量范圍
項(xiàng)目 | 測量范圍 | 分辨率 |
傳感器 | ±300μm | 1:65536 |
立柱 | 350mm | 0.2μm |
調(diào)心調(diào)平工作臺(tái) | 20kg | - |
旋轉(zhuǎn)工作臺(tái) | 旋轉(zhuǎn)精度 1 | (0 .025+6H/10000)μm |
旋轉(zhuǎn)速度 | 6rpm | |
測量直徑 | 300mm | |
工件直徑(回轉(zhuǎn)直徑) | 450mm | |
垂直軸 | 直線度 2 | 0.3μm/100mm |
移動(dòng)方式 | 電動(dòng) | |
水平臂 | 水平移動(dòng) | 165mm |
凸出量 | 25mm | |
水平移動(dòng)方式 | 電動(dòng) | |
檢測器 | 采集器件 | 圓光柵 |
圓周采樣點(diǎn)數(shù) | 8192 |
注:
1、測量點(diǎn)距端面高度 H 小于 20mm 時(shí);
2、截止波長為 2.5mm 時(shí);
3、以上參數(shù)均在 20℃ ±5℃, 階梯溫度不超過 2℃ /h 的環(huán)境下測得;
4、地面震動(dòng) RMS < 50HZ 2.5μm/s / > 50HZ 5.0μm/s。