英國Raptor Photonics公司的Eagle XV真空腔內(nèi)X射線相機紫外成像儀是專門為真空特殊工作環(huán)境設(shè)計的,可以直接放置在真空腔室內(nèi)使用。相機采用了Teledye e2v公司的背照式CCD芯片,99%的填充因子,可直接探測從真空紫外(極紫外)到軟X-ray波段(12eV-20keV能量范圍)。
主要特性>>
相機放置在真空腔室內(nèi)使用
來自Teledyne e2v的背照式CCD芯片
可直接探測能量范圍12eV-20keV
制冷溫度-80℃,暗電流<0.0005e-/p/s
提供完整真空饋通的解決方案
真空度兼容性10-5至10-8mbar
技術(shù)參數(shù)>>
典型應(yīng)用>>
EUV X射線光譜
軟X射線顯微鏡
VUV/EUVIXUV光刻
X射線行射成像(XRD)
X射線熒光成像(XRF)
X射線相襯成像
X射線等離子體診斷
X射線源特性分析