英國Raptor Photonics公司的 FalconⅢXV真空腔內X射線相機紫外成像儀是可以直接放置在真空腔室內的高速X射線相機,幀頻可達31幀/秒。相機采用電子倍增EMCCD芯片,高達5000倍的EMGain,實現(xiàn)對采集信號的放大,探測能量范圍覆蓋12eV到20keV,可實現(xiàn)對真空紫外VUV、軟X射線的直接探測。
主要特性>>
相機放置在真空腔室內使用
EMCCD芯片,分辨率1024x1024
滿分辨率幀頻31fps
可直接探測能量范圍12eV-20keV
制冷溫度-70℃,暗電流<0.001e-/p/s
提供完整真空饋通的解決方案
技術參數(shù)>>
典型應用>>
EUV X射線光譜
軟X射線顯微鏡
VUV/EUV/XUV光刻
X射線衍射成像(XRD)
X射線熒光成像(XRF)
X射線相襯成像
X射線等離子體診斷
X射線源特性分析